[实用新型]一种石英坩埚熔制机运动控制系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石英坩埚系统领域，特别是涉及一种石英坩埚熔制机运动控制系统。

背景技术

真空电弧法生产石英坩埚设备是目前世界上生产坩埚最先进的技术设备。它以电弧为热源，离心成型的工艺制造坩埚。其特点是设备可操作性强，工艺成熟，产品利润空间大，市场前景广阔。石英玻璃坩埚是单晶硅生产中的关键必需品，是半导体产业的龙头产业。广泛应用于电子、化工等诸多行业。用电弧法制的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。主要是采用电弧为热源，离心成型为基础，融化预先成型的高纯石英粉料，通过抽真空制造高纯度内层透明，外层乳白的石英坩埚装置。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型的目的是提供一种石英坩埚熔制机运动控制系统，包括支撑板1、电机II2、丝杆3、电极4、磨具5、电机III6、水平台7、支架8、电机I9和皮带10组成；其特征在于：所述水平台7支撑整个系统，所述水平台7上置有电机III6，所述电机III6置于磨具5下方，所述电极4下端置于磨具5内；所述支架8支撑电机I9和皮带10，所述支撑板1固定在皮带10上，所述电机I9带动皮带10运动，带动电极4的升降运动，所述电机II2带动丝杆3运动，所述电极4沿着丝杆3左右移动。

本实用新型采用三组电机控制电极的运动和磨具的运动，电极升降系统由伺服电极驱动丝杠升降机构以实现电极进给位置准确可靠。

附图说明

图1为本实用新型的示意图。

具体实施方式

参照图1中，本实用新型采用的技术方案为一种石英坩埚熔制机运动控制系统，包括支撑板1、电机II2、丝杆3、电极4、磨具5、电机III6、水平台7、支架8、电机I9和皮带10组成；其特征在于：所述水平台7支撑整个系统，所述水平台7上置有电机III6，所述电机III6置于磨具5下方，所述电极4下端置于磨具5内；所述支架8支撑电机I9和皮带10，所述支撑板1固定在皮带10上，所述电机I9带动皮带10运动，带动电极4的升降运动，所述电机II2带动丝杆3运动，所述电极4沿着丝杆3左右移动。

以上所述，仅是本实用新型的实施例，并非对本实用新型作任何限制，凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。