[实用新型]超纯砷烷的分析装置有效
| 申请号： | 201320731174.6 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN203616296U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 李英辉;朱颜;王陆平;马潇;许从应;王仕华;王智 | 申请（专利权）人： | 苏州丹百利电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/88 | 分类号： | G01N30/88 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王玉国;陈忠辉 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超纯砷烷 分析 装置 | ||
1.超纯砷烷的分析装置，其特征在于：包括四通进样阀、预分离柱、第一分析柱、第二分析柱、十通阀、六通阀和四通阀，四通进样阀的端口分别与超纯砷烷样品气管路、氦气管路、氮气管路以及十通阀的其中一端口相连，十通阀的其中一端口与分子泵机组相连，其相连的管路上安装有压力传感器和隔膜阀，十通阀的其中两端口分别与定量管的进口和出口相连，十通阀的其中两端口分别与预分离柱的进口和出口相连，十通阀的其中两端口分别与载气管路相连，十通阀的其中一端口与放空管路相连，十通阀的其中一端口与六通阀的其中一端口相连，六通阀的其中两端口分别与载气管路相连，六通阀的其中一端口与放空管路相连，六通阀的其中一端口与第一分析柱相连，第一分析柱与四通阀的其中一端口相连，六通阀的其中一端口与第二分析柱相连，第二分析柱与四通阀的其中一端口相连，四通阀的其中一端口与检测器相连，四通阀的其中一端口与放空管路相连。
2.根据权利要求1所述的超纯砷烷的分析装置，其特征在于：所述检测器为直流放电氦离子化检测器。
3.根据权利要求1所述的超纯砷烷的分析装置，其特征在于：所述预分离柱为长0.5～1.0m、内径1/8″、内装80～100目的CST填充柱。
4.根据权利要求1所述的超纯砷烷的分析装置，其特征在于：所述第一分析柱为长1～3m、内径1/8″、内装80～100目的5A分子筛填充柱，第二分析柱为长1～3m、内径1/8″、内装80～100目的Haysep Q填充柱。
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