[实用新型]圆柱体外表面的光学检测装置有效
| 申请号： | 201320732395.5 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN203657756U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 李雪园;韩森;孙昊 | 申请（专利权）人： | 苏州慧利仪器有限责任公司;韩森 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 马明渡;王健 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 圆柱 体外 表面 光学 检测 装置 | ||
1. 一种圆柱体外表面的光学检测装置，所述外表面（1）沿所述柱体（2）周向且位于外侧，其特征在于：包括激光器（3）、聚光凸透镜（4）、分束镜（5）、作为物镜的准直凸透镜（6）、标准平晶（7）和环形斜面反射镜（8），所述聚光凸透镜（4）位于激光器（3）和准直凸透镜（6）之间且聚光凸透镜（4）的焦点与准直凸透镜（6）的焦点重合；所述分束镜（5）位于聚光凸透镜（4）和准直凸透镜（6）之间，用于将来自准直凸透镜（6）的光线分为第一光束和第二光束；所述标准平晶（7）位于准直凸透镜（6）与分束镜（5）相背的一侧，该标准平晶（7）与准直凸透镜（6）相背的表面为标准平面（71）；
位于环形斜面反射镜（8）中央的环形反射斜面（81）沿其周向且位于内侧，所述待检测所述圆柱（2）位于环形斜面反射镜（8）内，且环形斜面反射镜（8）的旋转轴与圆柱（2）与标准平晶（7）各自的轴线重合，所述环形斜面反射镜（8）的环形反射斜面（81）与圆柱（2）的外表面（1）面对面放置，此环形斜面反射镜（8）沿轴线移动从而实现对柱体（2）的外表面（1）扫描；
干涉图样接收部件（9）位于所述分束镜（5）一侧，用于接收来自分束镜（5）的第二光束。
2. 根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于：当柱体（2）的外表面（1）与柱体（2）轴线平行时，所述环形斜面反射镜（8）的锥角为直角；当柱体（2）的外表面（1）与柱体（2）轴线的夹角θ为锐角时，所述环形斜面反射镜（8）的锥角为钝角；当柱体（2）的外表面（1）与柱体（2）轴线的夹角θ为钝角时，所述环形斜面反射镜（8）的锥角为锐角。
3. 根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于：所述聚光凸透镜（4）与准直凸透镜（6）的焦点重合处设有一第一小孔光阑（10）。
4. 根据权利要求1所述的光学检测装置仪，其特征在于：所述分束镜（5）与干涉图样接收部件（9）之间设有一第二小孔光阑（11）。
5. 根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于：所述干涉图样接收部件（9）为CCD相机或者成像屏。
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