[实用新型]一种环状压电式微加速度传感器

权利要求书

1.一种环状压电式微加速度传感器，其特征在于：所述的传感器包括敏感芯片（11）、上玻璃板（10）、下玻璃板（9）；其中，敏感芯片（11）含有第一压电层（1）、第二压电层（2）、第一上电极（4）、第二上电极（5）、第一下电极（6）、第二下电极（7）、支撑膜（3）、外框（12）、圆柱状的质量块（8）；所述的第二压电层（2）、第一压电层（1）由内外两个圆环构成；第一上电极（4）、第二上电极（5）、第一下电极（6）、第二下电极（7）均为环状；其连接关系是,所述的第一下电极（6）、第二下电极（7）设置于支撑膜（3）上表面，并与支撑膜（3）上表面固定连接；所述的第一压电层（1）、第二压电层（2）分别设置于第一下电极（6）、第二下电极（7）的上表面，并与第一下电极（6）、第二下电极（7）的上表面固定连接；所述的第一上电极（4）、第二上电极（5）分别设置于第一压电层（1）、第二压电层（2）的上表面，并与第一压电层（1）、第二压电层（2）的上表面固定连接；所述的质量块（8）悬置于第一下电极（6）、第二下电极（7）之下，并与支撑膜（3）固定连接；所述的支撑膜（3）与外框（12）固定连接；所述的敏感芯片（11）与上玻璃板（10）、下玻璃板（9）分别通过键合连接。

2.根据权利要求1所述的环状压电式微加速度传感器，其特征在于：所述的敏感芯片（11）中的第一下电极（6）与第一上电极（4）直径相同，第二下电极（7）与第二上电极（5）直径相同。

3.根据权利要求1所述的环状压电式微加速度传感器，其特征在于：所述的质量块（8）与第二下电极（7）为同轴设置。

4.根据权利要求1所述的环状压电式微加速度传感器，其特征在于：所述的第一压电层（1）、第二压电层（2）、第一下电极（6）、第二下电极（7）、第一上电极（4）、第二上电极（5）均为同轴设置。

5.根据权利要求l所述的环状压电式微加速度传感器，其特征在于：所述的第一压电层（1）外圆的直径大于第一上电极（4）外圆、第一下电极（6）外圆的直径；所述的第一压电层（1）内圆的直径小于第一上电极（4）内圆、第一下电极6内圆的直径；所述的第二压电层（2）外圆的直径大于第二上电极（5）外圆、第二下电极（7）外圆的直径；所述的第二压电层（2）内圆的直径小于第二上电极（5）内圆、第二下电极（7）内圆的直径。

6.根据权利要求1所述的环状压电式微加速度传感器，其特征在于：所述的圆柱状质量块（8）表面圆的直径大于第二上电极（5）、第二下电极（7）内圆的直径。