[实用新型]用于晶棒电阻自动测试的装置有效
申请号: | 201320735669.6 | 申请日: | 2013-11-20 |
公开(公告)号: | CN203672973U | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 李鑫;贺贤汉;鲁瑞平 | 申请(专利权)人: | 上海申和热磁电子有限公司 |
主分类号: | G01R27/08 | 分类号: | G01R27/08 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 沈履君 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 电阻 自动 测试 装置 | ||
1.用于晶棒电阻自动测试的装置,其特征在于,包括:
支架,在所述支架上设有滑轨;
长压板,所述长压板设置在所述滑轨上,在所述长压板开有安装孔;
探针,所述探针设置在所述安装孔内;其中所述探针及所述安装孔的数量为36个;
数据扫描仪,所述数据扫描仪与所述探针连接。
2.根据权利要求1所述的用于晶棒电阻自动测试的装置,其特征在于,所述数据扫描仪包括相互连接的电压表、电流表及数据采集器。
3.根据权利要求1所述的用于晶棒电阻自动测试的装置,其特征在于,在所述长压板上安装有圆压块。
4.根据权利要求3所述的用于晶棒电阻自动测试的装置,其特征在于,所述圆压块的数量为1个~3个。
5.根据权利要求1或3所述的用于晶棒电阻自动测试的装置,其特征在于,所述长压板的材质为金属。
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