[实用新型]一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜装置

权利要求书

1.一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置，包括真空炉罩、设置于真空炉罩的放置平台，所述真空炉罩近端部开设有进气口，底端开设有抽气口，其特征在于放置平台上方设置有热丝架，所述真空炉罩顶端正对拉丝以及拉丝模设置有风扇。

2.根据权利要求1所述的一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置，其特征在于所述热丝架上水平间隔缠绕有热丝，相邻热丝间的间距为8~10mm。

3.根据权利要求1所述的一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置，其特征在于所述放置平台为可旋转的平台。