[实用新型]化学机械抛光机用助力机械手有效
| 申请号： | 201320739613.8 | 申请日： | 2013-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN203600232U | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 郝玉清;程凤伶;蔡丽艳;李耀东;陈信;任凯峰;张建;李奇;白鸽玲 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J1/12 | 分类号： | B25J1/12;B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青;熊国裕 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械 抛光机 助力 机械手 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械抛光机用助力机械手，其特征在于，包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘，硬臂式支撑装置具有刚性臂杆，T型支架安装在该刚性臂杆的端部，数个真空吸盘安装在T型支架上。
2.根据权利要求1所述的化学机械抛光机用助力机械手，其特征在于，所述真空吸盘的数量为2个，分别安装在T型支架头部的两侧端。
3.根据权利要求1或2所述的化学机械抛光机用助力机械手，其特征在于，所述T型支架上设有一定位栓，该定位栓与抛光机上的定位槽相匹配，用于定位真空吸盘相对于抛光机上陶瓷板的位置。
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