[实用新型]一种扫描电镜机台内部载物台结构有效
| 申请号： | 201320746242.6 | 申请日： | 2013-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN203674157U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 张帆 | 申请（专利权）人： | 宜硕科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201103 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 机台 内部 载物台 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种扫描电镜机台内部载物台结构，其特征在于：所述扫描电镜机台内部设有一载物台支架，所述载物台支架上设有一安装孔，所述载物台结构包括一底座，所述底座的下表面对应所述安装孔形成有一连接部，所述连接部固定于所述安装孔内，所述底座的上表面形成有一用于夹持样品的夹持部。
2.如权利要求1所述的载物台结构，其特征在于：所述夹持部包括两块夹板，所述两块夹板对称设置于所述底座的上表面两侧。
3.如权利要求2所述的载物台结构，其特征在于：所述夹板上对应所述样品设有复数定位孔。
4.如权利要求3所述的载物台结构，其特征在于：所述载物台结构采用无磁性导电性材料制作。
5.如权利要求4所述的载物台结构，其特征在于：所述载物台结构的高度符合所述扫描电镜机台内部载物台的允许高度范围。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宜硕科技(上海)有限公司，未经宜硕科技(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320746242.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
