[实用新型]探针操作装置

权利要求书

1.一种探针操作装置，包括基座（10）、位置调节装置和用于固定待操作的探针（80）的探针臂（20），所述位置调节装置安装在所述基座（10）上，其特征在于，所述探针操作装置还包括：

压力检测装置（30），所述压力检测装置（30）安装在所述位置调节装置上，且所述探针臂（20）安装在所述压力检测装置（30）上。

2.根据权利要求1所述的探针操作装置，其特征在于，所述压力检测装置（30）包括推拉力计，所述推拉力计的侧壁与所述位置调节装置固定连接，且所述推拉力计的拉力连接头（31）与所述探针臂（20）连接。

3.根据权利要求2所述的探针操作装置，其特征在于，所述探针操作装置还包括：

连接件（22），所述连接件（22）固定在所述探针臂（20）上，且所述探针臂（20）通过所述连接件（22）与所述拉力连接头（31）连接。

4.根据权利要求3所述的探针操作装置，其特征在于，所述连接件（22）为螺母。

5.根据权利要求1所述的探针操作装置，其特征在于，所述探针臂（20）上设置有安装所述探针（80）的安装孔（21），且所述探针臂（20）上还设置有垂直于所述安装孔（21）的紧固孔；所述探针操作装置还包括螺栓，所述螺栓通过所述紧固孔与所述探针（80）抵接。

6.根据权利要求1所述的探针操作装置，其特征在于，所述位置调节装置包括第一水平调节装置（40）、第二水平调节装置（50）和竖向调节装置（60），且所述第一水平调节装置（40）的调节方向与所述第二水平调节装置（50）的调节方向垂直；所述第一水平调节装置（40）安装在所述基座（10）上，所述第二水平调节装置（50）安装在所述第一水平调节装置（40）上，所述竖向调节装置（60）安装在所述第二水平调节装置（50）上，且所述压力检测装置（30）安装在所述竖向调节装置（60）上。

7.根据权利要求6所述的探针操作装置，其特征在于，所述第一水平调节装置（40）包括第一固定块（41）、第一滑块（42）和第一调节件（43），所述第一固定块（41）安装在所述基座（10）上，所述第一滑块（42）沿所述第一水平调节装置（40）的调节方向活动地安装在所述第一固定块（41）上，所述第一调节件（43）的一端与所述第一滑块（42）位置可调节地连接，所述第一调节件（43）的另一端安装在所述第一固定块（41）上；

所述第二水平调节装置（50）包括第二固定块（51）、第二滑块（52）和第二调节件（53），所述第二固定块（51）安装在所述第一滑块（42）上，所述第二滑块（52）沿所述第二水平调节装置（50）的调节方向活动地安装在所述第二固定块（51）上，所述第二调节件（53）的一端与所述第二滑块（52）位置可调节地连接，所述第二调节件（53）的另一端安装在所述第二固定块（51）上；

所述竖向调节装置（60）包括第三固定块（61）、第三滑块（62）和第三调节件（63），所述第三固定块（61）安装在所述第二滑块（52）上，所述第三滑块（62）沿竖直方向活动地安装在所述第三固定块（61）上，所述第三调节件（63）的一端与所述第三滑块（62）位置可调节地连接，所述第三调节件（63）的另一端安装在所述第三固定块（61）上，且所述压力检测装置（30）安装在所述第三滑块（62）上。

8.根据权利要求7所述的探针操作装置，其特征在于，所述第一固定块（41）包括第一导轨，且所述第一滑块（42）上设置有与所述第一导轨相配合的第一导向槽；

所述第二固定块（51）包括第二导轨，所述第二滑块（52）上设置有与所述第二导轨相配合的第二导向槽；

所述第三固定块（61）包括第三导轨，所述第三滑块（62）上设置有与所述第三导轨相配合的第三导向槽。