[实用新型]一种改进型粉体材料表面等离子体处理装置

权利要求书

1.一种改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，包括外壳、电极组件、等离子发生器和气体分布板，所述外壳顶部设置有用于排出气体的抽气口，所述外壳底部设置有用于通入反应气体的气体入口，所述外壳内设置有反应腔室，所述电极组件设置于所述反应腔室外表面上，所述气体分布板设置于所述反应腔室内，所述电极组件设置于所述气体分布板上方，所述气体分布板上设置有若干用于反应气体进入的气孔，所述电极组件与所述等离子发生器电连接。

2. 根据权利要求1所述的改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，所述电极组件为螺旋状电极。

3.根据权利要求2所述的改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，所述螺旋状电极为立体螺旋状电极或平面螺旋状电极。

4.根据权利要求1-3任一所述的改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，所述等离子发生器包括用于调节所述电极组件功率的电源和与所述电源连接的匹配器，所述匹配器还与所述电极组件电连接。

5.根据权利要求4所述的改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，还包括用于排出气体的气泵，所述气泵与所述抽气口连接，气泵与抽气口之间还设置有过滤器。

6.根据权利要求5所述的改进型粉体材料表面等离子体处理装置，其特征在于，还包括用于提供反应气体的气源，所述气源与所述气体入口连接。