[实用新型]一种切割超薄多晶硅片的专用钢线导轮有效
申请号: | 201320772087.5 | 申请日: | 2013-11-28 |
公开(公告)号: | CN203665732U | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 王德明;杨方;谈军;孟维明;王庆峰 | 申请(专利权)人: | 国电兆晶光电科技江苏有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切割 超薄 多晶 硅片 专用 导轮 | ||
1.一种切割超薄多晶硅片的专用钢线导轮,包括轮体(1)和导轮槽(2),导轮槽(2)沿轴向均匀地开设在轮体(1)上,其特征是:所述导轮槽(2)的横截面形状为等腰梯形或正三角形,在导轮槽(2)与切割钢线(4)相接触的两侧面上沿周向设有溢浆槽(3)。
2.根据权利要求1所述切割超薄多晶硅片的专用钢线导轮,其特征是:所述溢浆槽(3)的横截面形状为等腰梯形。
3.根据权利要求1所述切割超薄多晶硅片的专用钢线导轮,其特征是:所述溢浆槽(3)的横截面形状为矩形。
4.根据权利要求1所述切割超薄多晶硅片的专用钢线导轮,其特征是:所述溢浆槽(3)的横截面形状为正三角形。
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