[实用新型]半导体扩散设备的石英舟升降装置

权利要求书

1.一种半导体扩散设备的石英舟升降装置，其特征在于，包括： 

驱动机构； 

支撑件，其横截面为U形； 

双直线导轨，直立地对称设置在所述支撑件两侧； 

由所述驱动机构驱动转动的滚珠丝杠，其设置于所述支撑件中部； 

连接板，安装于所述滚珠丝杠且与所述双直线导轨滑动连接，随所述滚珠丝杠的转动沿所述双直线轨道的方向上升或下降；以及 

承载石英舟的升降臂，与所述连接板固定连接，由所述连接板的运动带动上升或下降。 

2.根据权利要求1所述的石英舟升降装置，其特征在于，所述驱动机构通过传动机构驱动所述滚珠丝杠转动，所述传动机构包括同步带轮和同步带，所述滚珠丝杠与所述同步带轮同轴连接，所述驱动机构通过所述同步带驱动所述同步带轮。 

3.根据权利要求2所述的石英舟升降装置，其特征在于，所述传动机构设于底部安装盒内，所述底部安装盒用于支撑所述驱动机构及所述支撑件和双直线导轨。 

4.根据权利要求2所述的石英舟升降装置，其特征在于，所述驱动机构包括伺服电机和减速机；所述减速机的输入端与所述伺服电机相连，输出端与所述传动机构相连。 

5.根据权利要求1所述的石英舟升降装置，其特征在于，所述双直线导轨设置在所述支撑件的外侧。 

6.根据权利要求1所述的石英舟升降装置，其特征在于，还包括滚珠丝杠护罩，其设置于所述支撑件的开口侧，用于遮蔽所述滚珠丝杠。 

7.根据权利要求2所述的石英舟升降装置，其特征在于，还包括制动器，设于所述滚珠丝杠的顶部，用于在所述同步带断裂时防止所述滚珠丝杠下滑。 

8.根据权利要求7所述的石英舟升降装置，其特征在于，还包括用于对所述同步带进行检测的光电传感器，其设于所述同步带附近，当检测所述同步带断裂时发出信号至所述制动器。 

9.根据权利要求1所述的石英舟升降装置，其特征在于，还包括布置有电线和/或冷却水管的拖链，其一端通过拖链安装板安装在一导轨安装座上，所述导轨安装座沿所述双直线导轨上升或下降。 

10.根据权利要求9所述的石英舟升降装置，其特征在于，还包括拖链护板，其以包围所述拖链的方式设置，用于遮蔽所述拖链。 

11.根据权利要求9所述的石英舟升降装置，其特征在于，所述双直线导轨上设有沿所述双直线导轨上升或下降的两个滑块，所述连接板与所述两个滑块固定连接，所述导轨安装座安装于所述滑块上。