[实用新型]一种多点控温高温石墨化炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及石墨化炉领域，尤其涉及一种多点控温高温石墨化炉。

背景技术

高温石墨化炉是常用的制作石墨粉和石墨膜的设备，主要是通过2000-3000^oC的高温进行热处理来实现的。为了达到2000-3000^oC的高温，需要利用电磁感应圈对石墨坩埚进行加热，从而达到预设温度。但是由于现有的石墨化炉仅通过顶部的一个测温装置来控温，而因为石墨坩埚内部气体等原因，石墨化炉内部上下的温度分布差异比较大，特别是对于大型的石墨化炉。

因此，如何能将保持石墨化炉，特别是大型石墨化炉内部上下温度一致是本领域亟待解决的一个技术问题。

发明内容

本实用新型公开了一种多点控温高温石墨化炉，通过三段分别控温，特别是对于大型石墨化炉，可以使其内部温度分布更加均匀。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种多点控温高温石墨化炉，所述石墨化炉包括发热体石墨坩埚、石墨毡保温层，电磁感应线圈，具有冷却水夹层的不锈钢炉体、红外测温控温装置，所述电磁感应线圈为上中下三段式，分别与外部变频感应电源连接，可以分别单独对发热体石墨坩埚加热，所述红外测温控温装置有三套，用于分别根据测量的温度控制电磁感应圈对石墨坩埚的加热。

优选的，所述红外测温控温装置有三套，第一个测温控温装置位于石墨化炉顶端，第二个测温控温装置位于石墨化炉的侧方中部，第三个测温控温装置位于石墨化炉的侧方底部。

优选的，在上述的多点控温高温石墨化炉中，所述具有冷却水夹层的不锈钢炉体 尺寸高度大于等于800mm，直径大于等于400mm。

本实用新型公开了一种多点控温高温石墨化炉，包括设有发热体石墨坩埚、石墨毡保温层，电磁感应线圈，具有冷却水夹层的不锈钢炉体、红外测温控温装置。所述电磁感应线圈为上中下三段式，分别与外部变频感应电源连接，可以分别单独加热。所述红外测温控温装置有三套，分别控制电磁感应圈对石墨坩埚的加热，第一个测温控温装置位于石墨化炉顶端，第二个和第三个位于石墨化炉的侧方中部和侧方底部。本实用新型所述的石墨化炉进行高温加热，通过三段分别控温，特别是对于大型石墨化炉，可以使其内部温度分布更加均匀。

附图说明

本实用新型的多点控温高温石墨化炉由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型一实施例的多点控温高温石墨化炉的结构示意图。

图中，1-发热体石墨坩埚，2-石墨毡保温层，3-电磁感应线圈，4-具有冷却水夹层的不锈钢炉体，5-红外测温控温装置。

具体实施方式

以下将对本实用新型的多点控温高温石墨化炉作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有益效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参阅图1，图1所示是本实用新型一实施例的多点控温高温石墨化炉的结构示意图。这种多点控温高温石墨化炉，包括发热体石墨坩埚1，石墨毡保温层2，电磁感应线圈3，具有冷却水夹层的不锈钢炉体4，红外测温控温装置5。所述电磁感应线圈3为上中下三段式，分别与外部变频感应电源连接，可以分别单独对发热体石墨坩埚加热，所述红外测温控温装置有三套，用于分别根据测量的温度控制电磁感应圈对石墨坩埚的加热。第一个测温控温装置位于石墨化炉顶端，第二个测温控温装置位于石墨化炉的侧方中部，第三个测温控温装置位于石墨化炉的侧方底部。在使用过程中可通过顶端、中部、底部三个红外测温控温装置对石墨化炉的顶端、中部、底部的温度进行测量，同时通过控制对应的电磁感应线圈的加热温度和时间，来达到整体炉体温度均匀。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。