[实用新型]晶圆研磨液超音波震匀设备

权利要求书

1.一种晶圆研磨液超音波震匀设备，不同于现有叶片搅匀晶圆研磨液设备以驱动叶片进行搅拌的结构，其主体为下端伸出入液管上端伸出出液管的封闭筒件，且封闭筒件由至少一槽体层层竖设包围所构成，封闭筒件内部中央的槽体为混匀槽，使入液管由下端通入混匀槽内空间，出液管由上端通入混匀槽内空间，其特征在于：混匀槽的槽身四周外壁，叠接至少一只超音波震荡头。

2.根据权利要求1所述的晶圆研磨液超音波震匀设备，其特征在于，所述出液管上附设有过滤器。

3.根据权利要求1所述的晶圆研磨液超音波震匀设备，其特征在于，所述混匀槽截面形状为能供超音波震荡头发出的振动波传绕，又不会受超音波波动产生共振噪音的多直边形。

4.根据权利要求1所述的晶圆研磨液超音波震匀设备，其特征在于，所述混匀槽截面形状为能供超音波震荡头发出的振动波传绕，又不会受超音波波动产生共振噪音的多圆弧边形。

5.根据权利要求1所述的晶圆研磨液超音波震匀设备，其特征在于，所述混匀槽截面形状为能供超音波震荡头发出的振动波传绕，又不会受超音波波动产生共振噪音的类圆形。

6.根据权利要求1所述的晶圆研磨液超音波震匀设备，其特征在于，所述封闭筒件除中央竖设混匀槽外，复于混匀槽连同所有超音波震荡头外围再包围设置一封壳槽，且封壳槽壳顶面与混匀槽壳顶面相叠固接，封壳槽壳底面与混匀槽壳顶面相叠固接，将混匀槽连同所有超音波震荡头全部包入。

7.根据权利要求1所述的晶圆研磨液超音波震匀设备，其特征在于，所述超音波震荡头为传出单一周波的型式。

8.根据权利要求1所述的晶圆研磨液超音波震匀设备，其特征在于，所述超音波震荡头为传出四周波型式。

9.根据权利要求1所述的晶圆研磨液超音波震匀设备，其特征在于，所述超音波震荡头为频率调变周波型式。

10.根据权利要求1所述的晶圆研磨液超音波震匀设备，其特征在于，所述混匀槽的槽壳壁，为耐酸金属胎料的壳本体，内面涂上一铁氟龙层的复合层壁。

11.根据权利要求6所述的晶圆研磨液超音波震匀设备，其特征在于，所述封闭筒件竖设的槽体，除中央的混匀槽，及将混匀槽连同所有超音波震荡头外围包围设置的封壳槽外，复于封壳槽外围整个包竖一包密外槽，于包密外槽朝向封壳槽的槽内面各处槽间缝隙，铺设塞满泡绵。