[实用新型]一种高真空烧结炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种主要应用于磁铁制造行业并利用电磁感应加热的一种高真空烧结炉。

背景技术

烧结炉是一种在高温真空条件下，对磁铁粉进行烧结形成紧密结构的磁材的炉具。

请参阅图1，图1为现有技术烧结炉的结构示意图。现有技术烧结炉10包括炉体11、风机12、主阀13、扩散泵14、粗抽阀15、罗茨泵16、滑阀泵17和前级阀18。该风机12设置在该炉体11的外侧并且其抽风口通过管道与该炉体11连通相接；该主阀13设置在该炉体11的外侧并且其进口通过管道与该炉体11连通相接。该扩散泵14设置在该主阀13的底部并且其进口通过管道与该主阀13第一出口连接。该粗抽阀14设置在该主阀13的外侧并且其进口通过管道与该主阀13第二出口连接。该罗茨泵15设置在该粗抽阀14的底部，并且该罗茨泵15的进口通过管道与该粗抽阀14的出口连通相接。该滑阀泵17的进口通过管道连接于该罗茨泵15的出口。该前级阀18设置在该扩散泵14和该罗茨泵16之间，并且该前级阀18的进口和出口分别连接于该扩散泵14的出口和该罗茨泵16的进口。这种结构的烧结炉虽然被普遍运用，但是其存在着不可忽视的缺陷：当炉体内的真空度满足烧结条件时，现有烧结炉中的扩散泵、罗茨泵和滑阀泵会依次停止工作，这样会导致扩散泵中的油蒸汽不能及时排出室外，那么当炉体内的气压压强小于该扩散泵中的气压压强时，扩散泵中的油蒸汽便会向炉体内倒灌，造成炉体的烧结环境含有杂质，严重影响了被烧结产品的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点与不足，为了防止扩散泵、罗茨泵和滑阀泵在停止工作后，扩散泵中的油蒸汽倒灌进入炉体内，维护炉内的烧结环境，从而提高烧结炉的烧结质量，提供了一种高真空烧结炉。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种高真空烧结炉，包括炉体、风机、真空阀、抽气泵和小机械泵；该真空阀包括主阀；该抽气泵包括扩散泵、罗茨泵和滑阀泵；该风机、该炉体和该主阀通过管道依序连接；该扩散泵的进口与该主阀的第一出口通过管道连接，并且，该扩散泵、该罗茨泵和该滑阀泵通过管道依序连接；该小机械泵的进口通过管道与该扩散泵的出口连接。本实用新型的高真空烧结炉中的小机械泵防止了扩散泵、罗茨泵和滑阀泵在停止工作后扩散泵中的油蒸汽倒灌进入炉体内，保障了炉内烧结环境的纯度，进而提高了烧结炉的烧结质量。

进一步，该真空阀还包括粗抽阀和前级阀。该粗抽阀的进口与该主阀的第二出口连接，该粗抽阀的出口通过管道与该扩散泵和该罗茨泵之间的连接管道相通连接；该前级阀设置在该扩散泵和该罗茨泵的连接管道中。通过粗抽阀和前级阀的设置使得高真空烧结炉烧结前真空环境的实现不需要扩散泵、罗茨泵和滑阀泵同时工作，节约了高真空烧结炉抽真空时的功率。

进一步，该高真空烧结炉还包括控制器，以及该小机械泵的进口处设有进口阀门。该控制器分别与该炉体的电控系统和该抽气泵的电控系统电连接，并且该控制器与该小机械泵电连接，其根据该炉体和该抽气泵的工作状态控制该小机械泵运行或停止运行，并同时控制该进口阀门的开闭。该控制器使得该小机械泵在合适的时间工作，实现及时对抽完气后停止工作的扩散泵进行抽气，及时防止该扩散泵中的杂余物质倒灌入炉体内，进一步确保烧结环境和质量。

进一步，该高真空烧结炉还包括油气分离器，该油气分离器的进口通过管道分别与该小机械泵的出口和该滑阀泵的出口连接。油气分离器将小机械泵和滑阀泵油蒸汽中的油污从气体中分离出来，并将分离油污后的气体排到室外，减少了对环境的污染。

进一步，该高真空烧结炉还包括净化器，该净化器的进口通过管道与该风机的出口连接。该净化器有利于净化抽风机从炉内抽出的污染物，避免了高真空烧结炉排出的气体对大气的污染，进一步保护环境。

进一步，该净化器从其进口到其出口之间设有粉尘滤除层。高真空烧结炉烧结磁铁产生的气体中主要含有的污染物有：粉尘颗粒物。具体地，该粉尘滤除层为静电除尘粉尘滤除层或活性炭吸附粉尘滤除层。该静电除尘粉尘滤除层或活性炭吸附粉尘滤除层用以滤除掉烧结所产生气体中的粉尘颗粒物。净化器中的设置避免了烧结产生的气体中的污染物对大气的污染，加强了对环境的保护。

为了更好地理解和实施，下面结合附图详细说明本实用新型。

附图说明

图1是现有技术烧结炉的结构示意图。

图2是本实用新型高真空烧结炉的结构示意图。

具体实施方式