[实用新型]表面精密加工装置有效
| 申请号： | 201320789496.6 | 申请日： | 2013-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN203579322U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 苏兴存 | 申请（专利权）人： | 青岛丰光精密机械股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266300 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 精密 加工 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种表面精密加工装置，包括真空室，在真空室内设置有加工装置，加工装置上用夹具夹有工件，其特征在于：所述加工装置上连接有横向驱动装置和纵向驱动装置；所述工件垂直上方设置有光栅遮挡物，所述光栅遮挡物上方设置有激光干涉仪和传感器，所述激光干涉仪和传感器上分别设置有信号线与设置在真空室外的工位机相连接；所述真空室侧面上设置有离子发生器，所述离子发生器发射口与工件相对。
2.根据权利要求1所述的表面精密加工装置，其特征在于：所述离子发生器上连接有控制器，所述控制器上连接有控制台。
3.根据权利要求1所述的表面精密加工装置，其特征在于：所述光栅遮挡物一侧连接有光栅驱动装置。
4.根据权利要求1所述的表面精密加工装置，其特征在于：所述工件与水平成30度夹角设置在加工装置上。
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