[实用新型]扩散炉

权利要求书

1.一种扩散炉，包括炉管（10），其特征在于，还包括：

第一门板（21），所述第一门板（21）与所述炉管（10）的端口密封连接；

第二门板（22），所述第二门板（22）设置在所述炉管（10）的管腔内；

其中，所述第一门板（21）与所述第二门板（22）之间形成容纳腔（26），且所述容纳腔（26）内通有惰性气体。

2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉还包括：连接杆（23），所述连接杆（23）的一端与第一门板（21）固定连接，所述连接杆（23）的另一端与所述第二门板（22）固定连接。

3.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一门板（21）设置有通孔（24），且所述通孔（24）内安装有输气管（25）。

4.根据权利要求2所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉包括多个平行设置的所述连接杆（23）。

5.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉由石英材料制成。

6.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述惰性气体为氮气。