[实用新型]碳基减摩耐磨涂层及工件有效
| 申请号： | 201320791822.7 | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN203938726U | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王永欣;王立平;李金龙;薛群基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;B32B15/04;B32B9/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈振 |
| 地址： | 315201 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碳基减摩 耐磨 涂层 工件 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳基减摩耐磨涂层，其特征在于，为由粘结层与工作层交替沉积而成的多层膜结构；
所述粘结层为Ti、Cr、W元素中的一种的单质或氮化物或碳化物的薄膜，或者为Si元素的薄膜；
所述工作层为类石墨非晶碳薄膜，所述类石墨非晶碳薄膜中石墨结构的原子百分含量大于70％；
所述粘结层与所述工作层交替沉积的循环次数任意。
2.根据权利要求1所述的碳基减摩耐磨涂层，其特征在于，所述的碳基减摩耐磨涂层的厚度为10μm～50μm，硬度为10GPa～20GPa，划痕结合力大于50N，水环境中的摩擦系数小于0.1，水环境中的磨损率小于10-16m3N-1m-1数量级。
3.根据权利要求1所述的碳基减摩耐磨涂层，其特征在于，每一层所述粘结层的厚度为100nm～400nm，每一层所述工作层的厚度为1000nm～2000nm，且所述粘结层与相邻的所述工作层的厚度比为1:5～1:10。
4.根据权利要求1所述的碳基减摩耐磨涂层，其特征在于，所述粘结层与所述工作层交替沉积的循环次数为10～30次。
5.一种工件，包括基体，其特征在于，所述基体表面沉积有权利要求1－4任一项所述的碳基减摩耐磨涂层。
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