[实用新型]一种磁钢装置

说明书

技术领域

    本实用新型涉及一种磁钢装置，适用在LOW-E镀膜线、ITO镀膜线、太阳能镀膜线、玩具五金、卷绕等磁控溅射镀膜设备，且在医疗、食品等行业也有广阔的应用。

背景技术

传统的磁控溅射镀膜线所配阴极的磁钢阵列结构分为两种，一种是在大气状态下通过铜板间接冷却，另一种是直接浸泡在阴极冷却水里。前者因磁钢阵列冷却不好，时间久后因温度蠕变而失去磁性；后者因磁钢直接浸泡在水里极易腐蚀而失去磁性，两者均为固定安装，前者通过在外部短路调整磁场均匀性，后者只能整体微调，调整范围及其有限，没有工艺调整价值；磁钢的防腐决定磁钢使用的寿命，磁钢一旦腐化，补救起来十分困难。

传统的两种磁钢阵列的防腐性皆不好，前者用镀保护层，此保护层在有水状况下基本上有半年的保护效果，后者是在磁铁表面涂抹树脂和其他材料隔离冷却水，两者均不能持久的防腐，使用半年后，磁钢阵列会有不同程度的腐蚀，其磁场强度也在不断的变化，无法满足磁控溅射对磁场均匀性的要求，所以隔一段时间就要更换磁铁，维护费用较高 。

发明内容

本实用新型的目的是为了利用可调均匀性和防腐磁刚阵列来保证真空镀膜产品的膜厚均匀性，通过设计磁钢的可调节结构以及改变防腐措施来实现真空镀膜产品的膜厚均匀性。

本实用新型采用的技术方案是，一种磁钢装置，包括具有一个N极和两个S极的细长条磁铁本体，关键是：在细长条磁铁本体的下方增设一个固定管体，并在固定管体和细长条磁铁本体之间设置至少两个调节螺栓，调节螺栓穿过固定管体与细长条磁铁本体的下端面连接。

在固定管体与细长条磁铁本体之间的调节螺栓上还设置有锁紧螺母。

所述的调节螺栓设置5~8个，且等间距设置。

所述的细长条磁铁本体的N极和S极的外部分别包裹有不锈钢方钢体。

本实用新型的有益效果是，本产品既解决了磁钢腐蚀的问题，同时也解决了磁钢强度因工作环境温度而引起的变化问题，满足了膜厚均匀性的较高要求。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的左视图。

1代表细长条磁铁本体，2代表固定管体，3代表调节螺栓，4代表锁紧螺母，5代表不锈钢方钢体。

具体实施方式

一种磁钢装置，包括具有一个N极和两个S极的细长条磁铁本体1，关键是：在细长条磁铁本体1的下方增设一个固定管体2，并在固定管体2和细长条磁铁本体1之间设置至少两个调节螺栓3，调节螺栓3穿过固定管体2与细长条磁铁本体1的下端面连接。

在固定管体2与细长条磁铁本体1之间的调节螺栓3上还设置有锁紧螺母4。

所述的调节螺栓3设置5~8个，且等间距设置。

所述的细长条磁铁本体1的N极和S极的外部分别包裹有不锈钢方钢体5。

本实用新型在具体实施时，磁场调节就是通过调整磁钢整体向靶面靠近或远离来改变靶面磁场强度，从而调节整体膜厚至产品的要求，依靠磁轭的变形来调整局部位置的磁场强度，我们采用把一条磁钢分段调整的方式，是需要调整的局部能迅速的改变强度大小，对于不需要调整的地方维持不动。

具体制作时，细长条磁铁本体1按照一定的顺序在不锈钢方钢体5内进行排列，完成后把不锈钢方钢体5封堵，从而达到细长条磁铁本体1与不锈钢方钢体5外的任何介质隔离的作用，无论腐蚀介质是水或其他物质，对于能腐蚀不锈钢的特殊介质，可以采用相应的材料加以防护。本实用新型能很快地调整磁钢性能，达到真空磁控溅射膜厚均匀性的要求。防腐磁铁方法的应用，保证了磁铁性能的恒定，有效实现工业化的产品生产需求。