[实用新型]基于氧化锌纳米结构的乙醇传感器有效
| 申请号： | 201320796946.4 | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN203772790U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 叶柏盈 | 申请（专利权）人： | 纳米新能源生命科技（唐山）有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人： | 刘云贵;李郁 |
| 地址： | 063000 河北省唐山市高*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 氧化锌 纳米 结构 乙醇 传感器 | ||
1.一种基于氧化锌纳米结构的乙醇传感器，其特征在于，包括形成叉指电极的两组电极，以及设置在叉指电极至少一侧表面的氧化锌纳米膜；
所述氧化锌纳米膜由六边纤锌矿晶相的氧化锌纳米线构成；
所述叉指电极的两组电极不导通，形成所述乙醇传感器的信号输出端。
2.根据权利要求1所述的基于氧化锌纳米结构的乙醇传感器，其特征在于，所述氧化锌纳米膜是由六边纤锌矿晶相的氧化锌纳米线平行构成的氧化锌纳米膜。
3.根据权利要求1所述的基于氧化锌纳米结构的乙醇传感器，其特征在于，所述氧化锌纳米线的直径为200-300nm。
4.根据权利要求3所述的基于氧化锌纳米结构的乙醇传感器，其特征在于，所述氧化锌纳米膜的厚度为500nm-1μm。
5.根据权利要求4所述的基于氧化锌纳米结构的乙醇传感器，其特征在于，以每根构成氧化锌纳米膜的氧化锌纳米线为轴进一步生长有氧化锌纳米柱，构成氧化锌纳米柱阵列，形成带有氧化锌纳米柱的氧化锌纳米膜，所述氧化锌纳米柱是(002)面优势取向的六角柱。
6.根据权利要求5所述的基于氧化锌纳米结构的乙醇传感器，其特征在于，所述六角柱横截面最大长度为200-300nm，六角柱高度为2-3μm。
7.根据权利要求5所述的基于氧化锌纳米结构的乙醇传感器，其特征在于，所述带有氧化锌纳米柱的氧化锌纳米膜的厚度为5-8μm。
8.根据权利要求6或7所述的基于氧化锌纳米结构的乙醇传感器，其特征在于，每立方微米氧化锌纳米膜平均由2-3根氧化锌纳米线构成，氧化锌纳米柱彼此交缠。
9.根据权利要求1所述的基于氧化锌纳米结构的乙醇传感器，其特征在于，所述叉指电极是由在基板上沉积或涂布金、铟锡金属氧化物、银、铜或铝形成的叉指电极。
10.根据权利要求9所述的基于氧化锌纳米结构的乙醇传感器，其特征在于，所述基板是硅、玻璃或有机玻璃。
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