[实用新型]一种用于检测包装密封性的柔性气压传感器有效
| 申请号： | 201320797305.0 | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN203629763U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 安宁丽;方长青;郭彦峰;张伟;于江;付云岗 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26;G01L9/08 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 包装 密封性 柔性 气压 传感器 | ||
1.一种用于检测包装密封性的柔性气压传感器，其特征在于，包括用印刷有电极层柔性聚合物的薄膜（7）封装好的包装瓶盖封口（9），印刷有电极层柔性聚合物的薄膜（7）内设置有两个或两个以上气压传感器阵列单元（8）。
2.根据权利要求1所述的用于检测包装密封性的柔性气压传感器，其特征在于，所述的气压传感器阵列单元（8），包括从下至上依次设置的柔性聚合物薄膜基底层（1）、氧化金属层（2）和镍层（3），镍层（3）上表面设置有PVDF及其共聚物的微柱（5），PVDF及其共聚物的微柱（5）外包覆有金属电极层（6），PVDF及其共聚物的微柱（5）内设有CNTs簇内电极（4）。
3.根据权利要求2所述的用于检测包装密封性的柔性气压传感器，其特征在于，所述的PVDF及其共聚物的微柱（5）与镍层（3）垂直。
4.根据权利要求2所述的用于检测包装密封性的柔性气压传感器，其特征在于，所述的CNTs簇内电极（4）设置在镍层（3）上且与镍层（3）垂直。
5.根据权利要求2所述的用于检测包装密封性的柔性气压传感器，其特征在于，所述的柔性聚合物薄膜基底层（1）采用硅片。
6.根据权利要求2所述的用于检测包装密封性的柔性气压传感器，其特征在于，所述的氧化金属层（2）采用SiO2或TiN。
7.根据权利要求2所述的用于检测包装密封性的柔性气压传感器，其特征在于，所述的金属电极层（6）采用铂、银或石墨烯。
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