[实用新型]硅片腐前清洗机用清洗框

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械类技术领域，尤其涉及半导体硅片腐前清洗用的清洗框。 

背景技术

随着半导体硅片行业竞争的日益加大，产能的提升成为必然的趋势，而目前的硅片腐前清洗机所配套的清洗框采用不锈钢材料制造而成，质量较重，且结构单一清洗硅片时对硅片的尺寸有较多的限制，单批次清洗的硅片较少，远远不能满足实际生产的需要。 

发明内容

本实用新型要解决的问题是提供一种结构简单、质量轻便、且单批次能够清洗较多硅片数量的硅片的腐前清洗用清洗框。 

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于：包括框体底板、侧板、挡板、横杆和提手，所述框体底板上设有若干方孔，底板四边的边缘和中间梁上都均匀设有若干通孔，两个所述侧板设置在所述框体底板相对的两侧，其底部与所述框体底板固定连接，所述侧板上设有若干圆孔，两个所述挡板相对设置在所述框体底板的另两侧，其底部和两端分别与所述框体底板和两个侧板固定连接，所述挡板上设有若干通孔，两个所述横杆分别平行设于两个所述挡板的上边，其两端分别固定连接在两个所述侧板的上部，所述提手横跨在所述框体底板的上边，其两端分别固定安装在两个所述横杆上。 

两排所述方孔对称分布在所述底板上。 

每排设有三个所述方孔，且三个所述方孔大小不等。 

所述提手包括第一提手和第二提手，所述第一提手设置在所述横杆的一端，所述第二提手设置在所述横杆的另一端，且距离横杆端部有一定距离。 

所述第二提手距离所述横杆端部的距离为10cm-20cm。 

所述第一提手和第二提手为一板状，其两侧通过支座固定挂在所述横杆上，其上端设有一杆，所述杆的两端突出所述提手两侧，所述第一提手和第二提手上均设有圆形通孔。 

所述侧板上设有五个所述圆孔，其中上边有两个所述圆孔，下边有三个所述圆孔。 

所述框体底板、侧板、挡板、横杆和提手均采用PP塑料材质。 

本实用新型具有的优点和积极效果是：本实用新型的硅片腐前清洗机用清洗框多处开设有孔，在保证了清洗框被抓起、放下和挪动时的平稳性的同时，大大减轻了清洗框的质量，且该清洗框每批次清洗的硅片数量较多，增加了产能。 

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。 

图中： 

1、框体底板      2、侧板          3、挡板          4、横杆 

5、第一提手      6、第二提手      7、方孔          8、边缘 

9、中间梁        10、通孔         11、圆孔         12、圆形通孔 

13、支座         14、杆 

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。 

如图1所示，本实用新型的硅片腐前清洗机用清洗框，包括框体底板1、侧板2、挡板3、横杆4和提手，提手包括第一提手5和第二提手6，所述框体底1上设有若干方孔7，框体底板1四边的边缘8和中间梁9上都均匀设有若干通孔10，两个所述侧板2设置在所述框体底板1相对的两侧，其底部与所述框体底板1固定连接，所述侧板2上设有若干圆孔11，两个所述挡板3相对设置在所述框体底板1的另两侧，其底部和两端分别与所述框体底板1和两个侧板2固定连接，所述挡板3上设有若干通孔10，两个所述横杆4分别平行设于两个所述挡板3的上边，其两端分别与两个所述侧板2固定连接，所述第一提手5和第二提手6均横跨在所述框体底板1的上边，其两端分别固定安装在两个所述横杆4上。 

两排所述方孔7对称分布在所述框体底板1上。 

每排设有三个所述方孔7，且三个所述方孔7大小不等，其中中间的方孔7最大，两个的方孔较小。 

第一提手5设置在所述横杆4的一端，所述第二提手6设置在所述横杆4的另一端，且距离横杆4端部有一定距离，第二提手6距离所述横杆4端部的距离为5cm-15cm。 

第一提手5和第二提手6为一板状，其两侧通过支座13固定挂在所述横杆4上，其上端设有一杆14，所述杆14的两端突出所述提手两侧，所述第一提手5和第二提手6上均设有圆形通孔12。 

所述侧板2上设有五个所述圆孔11，上边设有两个所述圆孔11，下边设有三个所述圆孔11。 

所述框体底板1、侧板2、挡板3、横杆4和提手（包括第一提手5和第二提手6）均采用PP塑料材质。