[实用新型]一种改造后的硅片清洗机用槽体有效
| 申请号： | 201320804318.6 | 申请日： | 2013-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN203578277U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 武卫;翟洪升;严政先;孙希凯;刘建伟 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 孙春玲 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改造 硅片 清洗 机用槽体 | ||
【权利要求书】：
1.一种改造后的硅片清洗机用槽体，槽体（1）的上沿周向有水平外沿（2），其特征在于：水平外沿（2）上设置有溢流通道（4），在水平外沿（2）的下方，沿槽体壁的外侧周向设置有一圈蓄水槽（3），所述溢流通道（4）与所述蓄水槽（3）连通，蓄水槽（3）的底部设有排水管道（7）。
2.根据权利要求1所述的槽体，其特征在于：所述槽体（1）水平外沿（2）的边缘有向上的凸边（5）。
3.根据权利要求2所述的槽体，其特征在于：所述凸边（5）的外边周向有水平外凸边（6）。
4.根据权利要求1-3任一项所述的槽体，其特征在于：所述槽体（1）是不锈钢槽体，槽体内还设置有进水管道和出水管道。
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