[实用新型]化学机械研磨机台及其研磨液供给手臂有效
| 申请号： | 201320804378.8 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN203636589U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 周维娜;刘庚申 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B55/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 机台 及其 供给 手臂 | ||
1.一种研磨液供给手臂，包括主体以及设置于所述主体一端的喷嘴，其特征在于，还包括设置于所述主体底部的多个刷子。
2.如权利要求1所述的研磨液供给手臂，其特征在于，所述刷子包括若干根刷毛，所述刷毛的顶端具有结节。
3.如权利要求2所述的研磨液供给手臂，其特征在于，所述刷毛的高度大于所述刷毛顶端结节的高度。
4.如权利要求2所述的研磨液供给手臂，其特征在于，所述结节的顶部是平整的。
5.如权利要求4所述的研磨液供给手臂，其特征在于，所述刷子为圆形或长条形，所述多个刷子均匀分布在所述主体的底部。
6.如权利要求2所述的研磨液供给手臂，其特征在于，所述刷毛的长度是4.5～6.5毫米，所述刷毛的直径是0.1～0.3毫米。
7.如权利要求2所述的研磨液供给手臂，其特征在于，所述刷毛的材质为聚苯硫醚、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚氨或聚酰胺-酰亚胺、尼龙。
8.如权利要求1至7中任意一项所述的研磨液供给手臂，其特征在于，所述喷嘴包括研磨液喷嘴和清洗液喷嘴，所述清洗液喷嘴和所述研磨液喷嘴呈一字型排列。
9.一种化学机械研磨机台，其特征在于，包括如权利要求1至8中任意一项所述的研磨液供应手臂。
10.如权利要求9所述的化学机械研磨机台，其特征在于，还包括研磨台、粘贴于所述研磨台上的研磨垫以及用于修整所述研磨垫的研磨垫修整器。
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