[实用新型]多轴电容式加速度计

权利要求书

1.一种多轴电容式加速度计，包括基底和XY轴结构层，所述XY轴结构层包括可动质量块、中心锚点、弹性结构以及多个检测电极，所述多个检测电极用于检测X方向和Y方向的加速度，所述可动质量块与所述中心锚点和弹性结构相连，其特征在于，所述多轴电容式加速度计还包括分别位于XY轴结构层两侧的两个Z轴结构层。

2.如权利要求1所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，每个所述Z轴结构层均包括可动质量块、固定锚点、弹性结构以及两个固定电极，所述两个固定电极固定于所述基底上，所述Z轴结构层的弹性结构与所述Z轴结构层的固定锚点和可动质量块相连。

3.如权利要求2所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，每个所述Z轴结构层的两个固定电极的结构相同且关于所述Z轴结构层的弹性结构对称。

4.如权利要求3所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，每个所述Z轴结构层的可动质量块的质心不在所述Z轴结构层的弹性结构上。

5.如权利要求4所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，其中一个Z轴结构层的弹性结构左侧的可动质量块的质量与另一个Z轴结构层的弹性结构左侧的可动质量块的质量相同，所述其中一个Z轴结构层的弹性结构右侧的可动质量块的质量与另一个Z轴结构层的弹性结构右侧的可动质量块的质量相同。

6.如权利要求5所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，其中一个Z轴结构层中远离中心锚点的固定电极与另一个Z轴结构层中靠近中心锚点的固定电极电学连接，所述其中一个Z轴结构层中靠近中心锚点的固定电极与另一个Z轴结构层中远离中心锚点的固定电极电学连接。

7.如权利要求2所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，所述Z轴结构层的可动质量块、固定锚点以及弹性结构是通过蚀刻和熏蒸工艺一体成形的结构，所述Z轴结构层的可动质量块、固定锚点以及弹性结构与所述XY轴结构层的可动质量块、中心锚点、弹性结构以及检测电极一同利用第二层多晶硅形成。

8.如权利要求2所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，所述多轴电容式加速度计还包括形成于所述基底上的布线，所述Z轴结构层的固定电极与所述基底上的布线利用第一层多晶硅形成。

9.如权利要求1所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，所述XY轴结构层包括八个检测电极，所述八个检测电极以所述中心锚点为中心呈辐射状分布于其四周；其中四个检测电极对称分布于中心锚点的左右两侧，用于检测X方向的加速度；另外四个检测电极对称分布于中心锚点的上下两侧，用于检测Y方向的加速度。

10.如权利要求9所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，每个所述检测电极均包括第一检测电极以及两个第二检测电极，所述第一检测电极与所述XY轴结构层的可动质量块相连，所述两个第二检测电极固定于所述基底上。

11.如权利要求1所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，所述XY轴结构层还包括固定于所述基底上的多个止动块，所述多个止动块均匀分布于所述XY轴结构层的可动质量块的周围并与所述XY轴结构层的可动质量块相连。

12.一种多轴电容式加速度计，包括基底和XY轴结构层，所述XY轴结构层包括可动质量块、中心锚点、弹性结构以及多个检测电极，所述多个检测电极用于检测X方向和Y方向的加速度，所述可动质量块与所述中心锚点和弹性结构相连，其特征在于，所述弹性结构为扇形折叠梁结构，所述多轴电容式加速度计还包括分别位于XY轴结构层两侧的两个Z轴结构层。

13.如权利要求12所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，所述多轴电容式加速度计还包括形成于所述基底上的布线，所述XY轴结构层的弹性结构与所述布线错开设置。

14.如权利要求12所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，每个所述Z轴结构层均包括可动质量块、固定锚点、弹性结构以及两个固定电极，所述两个固定电极固定于所述基底上，所述Z轴结构层的弹性结构与所述Z轴结构层的固定锚点和可动质量块相连。

15.如权利要求14所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，每个所述Z轴结构层的两个固定电极的结构相同且关于所述Z轴结构层的弹性结构对称。