[实用新型]一种化学尾气吸收仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气相沉积法吸收尾气装置。

背景技术

化学气相沉积(Chemicalvapordeposition，简称CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。它本质上属于原子范畴的气态传质过程。与之相对的是物理气相沉积（PVD）。化学气相沉积是一种制备材料的气相生长方法，它是把一种或几种含有构成薄膜元素的化合物、单质气体通入放置有基材的反应室，借助空间气相化学反应在基体表面上沉积固态薄膜的工艺技术。

现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料，这些功能材料必须是高纯的，或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。但是，我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求，也难以保证得到高纯度的产品。因此，无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

在化学气相沉积工艺尾气中含有多种有毒废气，例如多氟化物、砷烷、磷烷、硼烷、硅烷等，如果直接排放到大气中，会对环境造成严重污染，因此这些有毒气体必须经过严格的处理达到排放标准后才能排入大气中。其中有些废气能与水发生反应，其他一些成分可以被水吸收，因此，目前美国、日本等国家大多采用水吸收尾气处理装置，但是其中还有一些不与水发生反应也不能被吸收的气体会被直接排放到空气中，造成对环境的破坏。因此，研究出一种高效的尾气吸收装置具有重大的意义。

有鉴于上述现有的化学尾气吸收仪存在的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的化学尾气吸收仪，使其更具有实用性。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，克服现有的化学尾气吸收仪存在的缺陷，而提供一种新型结构的化学尾气吸收仪，提高尾气净化程度，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种化学尾气吸收仪，所述吸收仪包括有一壳体，所述壳体顶部一侧设置有进气口、并在底部另一侧设置有排气口，所述壳体内设置有从右至左依次相连的喷淋室、第一吸收室、第二吸收室和第三吸收室，所述喷淋室与所述进气口相连，所述排气口与所述第三吸收室相连。

作为优选，前述的化学尾气吸收仪，所述第一吸收室内填充氧化剂吸收剂。

作为优选，前述的化学尾气吸收仪，所述氧化剂吸收剂为高锰酸钾。

作为优选，前述的化学尾气吸收仪，所述第二吸收室内填充卤族元素吸收剂。

借由上述技术方案，本实用新型的化学尾气吸收仪至少具有下列优点：

本实用新型的化学尾气吸收仪，设置有喷淋室，将尾气温度降到室温，首先净化掉与水发生反应或者可以被水吸收的尾气，完成初步净化；接着设置吸收室，在吸收室内设置氧化剂或者卤素作为吸收剂吸收掉剩余的尾气，设置多个吸收室，多重净化，操作简单，净化程度高，满足现代社会高效、绿色、环保的主题要求。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1本实用新型化学尾气吸收仪的结构示意图，

图中标号含义：101、壳体，102、进气口，103、喷淋室，104、第一吸收室，105、第二吸收室，106、第三吸收室，107、排气口。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对本实用新型的具体实施方式详细说明如后。