[实用新型]一种真空远区等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201320809973.0 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN203588974U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 沈文凯;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 等离子体 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1. 一种真空远区等离子体处理装置，其特征在于，包括反应腔、电极组件、等离子发生器和负压设备，所述反应腔包括放电腔和用于材料表面活化反应的处理腔，所述放电腔设置于所述处理腔上方并与所述处理腔连通，所述放电腔顶部设置有气体入口，所述处理腔底部设置有气体出口，所述电极组件设置于所述放电腔外表面，所述等离子发生器与所述电极组件电连接，所述负压设备与所述气体出口连接。
2. 根据权利要求1所述的真空远区等离子体处理装置，其特征在于，所述电极组件为立体螺旋状电极。
3. 根据权利要求1所述的真空远区等离子体处理装置，其特征在于，所述电极组件为一对对称设置的环状电极。
4. 根据权利要求2或3所述的真空远区等离子体处理装置，其特征在于，所述等离子发生器包括用于调节所述电极组件功率的电源和与所述电源连接的匹配器，所述匹配器还与所述电极组件电连接。
5. 根据权利要求4所述的真空远区等离子体处理装置，其特征在于，所述负压设备为真空泵。
6. 根据权利要求1所述的真空远区等离子体处理装置，其特征在于，所述真空泵与所述气体出口之间还设置有过滤器。
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