[实用新型]圆形六角密排多像素光子计数器

权利要求书

1.圆形六角密排多像素光子计数器，其特征在于，包括有光子计数器本体，所述光子计数器本体上设置有若干个圆形APD单元（10），所述若干个圆形APD单元（10）呈多行多列交错排列，所述若干圆形APD单元（10）之间并联，所述若干个圆形APD单元（10）都与一个负载连接。 

2.根据权利要求1所述的圆形六角密排多像素光子计数器，其特征在于，所述光子计数器本体，自上而下依次设置有SiO₂钝化层（2）、高掺杂层（3）、外延层（4）及衬底层（8），所述SiO₂钝化层（2）的上部边缘设置有电极（1），所述外延层（4）内靠近高掺杂层（3）处设置有多个富掺杂区（5），每个富掺杂区（5）的下部与所述衬底层（8）之间设置有体电阻区（6），相邻的两个体电阻区（6）之间设置有耗尽隔离区（7），所述衬底层（8）的下部设置有背电极（9）。 

3.根据权利要求2所述的圆形六角密排多像素光子计数器，其特征在于，所述衬底层（8）为掺杂的硅单晶片，硅单晶片的掺杂类型为N型或P型； 

所述外延层（4）为掺杂的硅单晶片，硅单晶片掺杂类型为N型或P型。 

4.根据权利要求1所述的圆形六角密排多像素光子计数器，其特征在于，所述电极（1）和所述背电极（9）均为金属膜或透明导电膜。 

5.根据权利要求4所述的圆形六角密排多像素光子计数器，其特 征在于，所述金属膜为银膜、金膜、铝膜或钛膜。 

6.根据权利要求4所述的圆形六角密排多像素光子计数器，其特征在于，所述透明导电膜为ITO薄膜。