[实用新型]一种大尺寸石英管炉的电气信号处理系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种大尺寸石英管炉的电气信号处理系统。

背景技术

感应加热时感应线圈对外部有很强辐射，一定距离内的电气信号和人都会受到影响，加热功率越大影响就越明显。

电气信号（特备是弱的电压信号）在磁场中会受到干扰，大尺寸石英管炉线圈设计裸露在外（一般炉体设计将线圈包在炉体腔内），这样在加热时中频线圈对周围信号产生很强的干扰，目前小尺寸石英管炉线圈由于尺寸/生长功率都小，所以屏蔽线接好后基本满足生产需要；

现有技术的缺点可以是成本高，效率底，耗时间等类似问题。

目前大尺寸石英管炉线圈由于尺寸/生长功率都增大，屏蔽线上产生的干扰在增强，对压力检测/速度检测/真空度检测等等信号都有明显的影响；信号抖动后影响整体的电气控制性能，所以干扰的处理是制约大尺寸石英管炉生长高品质的碳化硅晶体的重因素之一。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，针对现有技术成本高，效率底，耗时间等问题，提供一种大尺寸石英管炉的电气信号处理系统。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种大尺寸石英管炉的电气信号处理系统,包括与外接电源相连接的开关电源、传感器、控制器、滤波器、滤除干扰模块和扼流圈；

所述开关电源一端与外接电源相连接，另一端与传感器相连接；

所述传感器一端与开关电源相连接，另一端与外部采样端相连接；

所述滤波器设置在外接电源与开关电源之间；

所述滤波器连接开关电源的一端还并联有控制器；

所述控制器一端与滤波器相连接，另一端与外部交流信号相连接；

所述控制器与外部交流信号之间设有滤除干扰模块；

所述传感器与外部采样端之间设有扼流圈，所述扼流圈用于减弱共模干扰信号。

本实用新型的有益效果是：采用本实用新型电气信号所受的干扰明显减小，控制精度提高；整柜铝板屏蔽，减小高频电磁场对操作人员的辐射；应用多种抗干扰和屏蔽技术，使电气信号所受的干扰减小，控制精度提升；加封闭的铝板柜壳后减少电磁波对操作人员的辐射影响；并且解决了一般工控柜体只重点处理差模信号，不处理共模信号的问题。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述开关电源与传感器之间还设有磁柱。

进一步，所述磁柱的数量为1至5环。

采用上述进一步方案的有益效果是，根据现场干扰情况确定需要加几环磁柱进行处理电源。

进一步，所述扼流圈与外部采用端之间还设有小容量的电解电容。

采用上述进一步方案的有益效果是，所述小容量的电解电容耐压35V/50V滤除差模信号。

进一步，所述滤波器与控制器之间还设有1至5环的磁柱。

采用上述进一步方案的有益效果是，根据现场干扰情况确定需要加几环磁柱进行处理电源。

进一步，所述滤波器采用带接地的滤波器。

进一步，所述滤除干扰模块采用高压瓷片电容。

进一步，所述开关电源、传感器、控制器、滤除干扰模块、扼流圈、磁柱和小容量的电解电容设于一个密封的柜体内。

进一步，所述柜体采用铝板制成，缝隙处加铜板或铜皮。

采用上述进一步方案的有益效果是，可以减小漏磁。

进一步，所述铝板厚度为0.5mm至4mm。

附图说明

图1为本实用新型具体实施例1和2所述的一种大尺寸石英管炉的电气信号处理系统结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、开关电源，2、传感器，3、控制器，4、滤波器，5、滤除干扰模块，6、扼流圈，7、磁柱，8、电解电容。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

如图1所示，为本实用新型具体实施例1和2所述的一种大尺寸石英管炉的电气信号处理系统结构示意图,包括与外接电源相连接的开关电源1、传感器2、控制器3、滤波器4、滤除干扰模块5和扼流圈6；

所述开关电源1一端与外接电源相连接，另一端与传感器2相连接；

所述传感器2一端与开关电源1相连接，另一端与外部采样端相连接；

所述滤波器4设置在外接电源与开关电源1之间；

所述滤波器4连接开关电源1的一端还并联有控制器3；

所述控制器3一端与滤波器4相连接，另一端与外部交流信号相连接；