[实用新型]一种高频等离子硅烷分解炉有效
| 申请号： | 201320825201.6 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN203593624U | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 李耀文;耿彩军;刘斌;孙佳杰;张增玉 | 申请（专利权）人： | 李耀文 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100071 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高频 等离子 硅烷 分解 | ||
【权利要求书】：
1.一种高频等离子硅烷分解炉，其特征在于：包括分解炉筒体、高频等离子灯具、感应线圈以及高频感应配电箱；其中，所述高频等离子灯具收容于分解炉筒体内；所述感应线圈设置于分解炉筒体内，其通过冷却密封组件与高频感应配电箱相连接；所述高频等离子灯具插入感应线圈内；所述高频感应配电箱安装于分解炉筒体的一侧。
2.如权利要求1所述的高频等离子硅烷分解炉，其特征在于：于所述分解炉筒体的内表面设有一层耐磨耐高温材料层，外表面设有一层保温材料层。
3.如权利要求1所述的高频等离子硅烷分解炉，其特征在于：于所述高频等离子灯具上连接有一根燃烧气体硅烷管道、一根稀释气体氩气管道以及一根冷却气体氩气管道。
4.如权利要求1所述的高频等离子硅烷分解炉，其特征在于：所述分解炉筒体内设有一固定柱，所述高频等离子灯具固定于固定柱上。
5.如权利要求1所述的高频等离子硅烷分解炉，其特征在于：所述分解炉筒体的一侧还设有一视镜。
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