[实用新型]探针卡

权利要求书

1.一种探针卡，其特征在于，包含：

一基板，具有一上表面、一相对该上表面的一下表面及一封闭周边；

多个间隙，形成于该基板上，且通过每一该间隙形成多个弹性区块，并使每一该弹性区块部分与该基板连接；

多个金属凸块，形成于该基板的下表面，且每一该金属凸块对应于每该弹性区块；

多个焊垫，配置于该基板的上表面的封闭周边上；及

多条导线，每一该导线连接每一该焊垫及每一该金属凸块。

2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，其中该弹性区块与该基板一体成形。

3.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，其中该弹性区块呈现一几何形状。

4.根据权利要求3所述的探针卡，其特征在于，其中该间隙与该弹性区块呈现同一几何形状。

5.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，该基板及该弹性区块为金属、陶瓷或高分子材料。

6.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，其中该间隙以蚀刻或冲压方式形成。

7.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，在该弹性区块上进一步形成一贯穿孔，并对应于该金属凸块，且该导线一端连接该焊垫，另一端经由该贯穿孔连接该金属凸块。

8.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，在该基板上进一步形成一贯穿孔，由一该导线通过该贯穿孔后，将该导线的一端连接该焊垫，另一端经由该贯穿孔穿过该基板至该下表面并连接该金属凸块。

9.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，其中该金属凸块以电镀或沉积方式形成。

10.一种测试机台，由一测试座及一探针卡所组成，该测试座下方具有多个接点，且该探针卡配置于该测试座下方，其中该探针卡的特征在于：

该探针卡，包含：

一基板，具有一上表面、一相对该上表面的一下表面及一封闭周边；

多个间隙，形成于该基板上，且通过每一该间隙形成多个弹性区块，并使每一该弹性区块部分与该基板连接；

多个金属凸块，形成于该基板的下表面，且每一该金属凸块对应于每该弹性区块；

多个焊垫，配置于该基板的上表面的封闭周边上；及

多条导线，每一该导线连接每一该焊垫及每一该金属凸块。