[实用新型]高精度双重传感器激光扫描振镜系统及其扫描振镜电机

权利要求书

1.一种高精度双重传感器激光扫描振镜系统，包括聚焦系统、执行电动机、控制系统，所述聚焦系统与所述执行电动机连接，所述执行电动机与所述控制系统连接； 

所述聚焦系统包括激光器、扩束镜、动态聚焦系统、物镜、x轴同轴振镜、y轴同轴振镜、z轴同轴振镜，所述激光器与所述扩束镜连接，所述扩束镜与所述动态聚焦系统连接，所述动态聚焦系统设置在所述z轴同轴振镜上，所述动态聚焦系统与所述物镜连接，所述物镜与所述x轴同轴振镜连接，所述x轴同轴振镜与所述y轴同轴振镜连接，所述x轴同轴振镜和所述y轴同轴振镜的镜面中心与所述激光器和所述扩束镜的光轴重合，所述动态聚焦系统的中心与所述x轴同轴振镜和y轴同轴振镜镜面中心重合； 

所述控制系统包括扫描控制器和激光控制器，所述扫描控制器与所述激光控制器连接，所述激光控制器与所述激光器连接，所述扫描控制器与所述执行电动机连接； 

所述x轴同轴振镜、y轴同轴振镜、z轴同轴振镜分别与x轴扫描振镜电机、y轴扫描振镜电机、z轴扫描振镜电机连接，所述x轴振镜扫描电机、y轴振镜扫描电机、z轴振镜是电机均与所述执行电动机连接。 

2.根据权利要求1所述的高精度双重传感器激光扫描振镜系统，其特征在于所述执行电动机为伺服驱动电机。 

3.根据权利要求1所述的高精度双重传感器激光扫描振镜系统，其特征在于所述x轴扫描振镜电机、所述y轴扫描振镜电机、所述z轴扫描振镜电机均包括同轴振镜电机、与同轴振镜电机连接的电机驱动系统、光栅传感器、光电传感器、光电传感器信号处理电路、光电传感器调剂控制电路、实时位置校正系统、低频阻尼电路、位置比较电路、闭环控制电路，所述光栅传感器、光电传感器分别与所述同轴振镜电机连接，所述光电传感器调剂控制电路与所述光电传感器单向输入连接，所述光电传感器信号处理电路向所述光电传感器单向输出连接，所述光栅传感器、所述光电传感器调剂控制电路分别与所述实时位置校正系统连接，所述光电传感器分别与所述低频阻尼电路、位置比较电路连接，所述低频阻尼电路、位置比较电路分别与所述电机驱动系统连接，所述闭环控制电路与所述电机驱动系统闭环连接。