[实用新型]一种多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 201320833908.1 | 申请日: | 2013-12-18 |
公开(公告)号: | CN203639595U | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
发明(设计)人: | 周继承;刘涵坚;朱贝;黄凯欣;苏炯锋;魏铭军;李家栋 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉,包括:炉体(10)、经过所述炉体(10)底部的冷却水夹层(20)、以及分别与所述冷却水夹层(20)连通的冷却水进水口(30)和冷却水出水口(40),其特征在于:
所述多晶硅铸锭炉还包括:第一三通阀(50)和第二三通阀(60);所述第一三通阀(50)的第一接口(501)与冷却水进水管道接通,第二接口(502)与所述冷却水进水口(30)接通,第三接口(503)与外部大气相连;所述第二三通阀(60)的第一接口(601)与所述冷却水出水口(40)接通,第二接口(602)与冷却水排水管道接通,第三接口(603)与外部大气相连;
所述炉体(10)底部设有从炉体(10)外部开启的泄水阀(70),所述泄水阀(70)与冷却水夹层(20)接通。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述第一三通阀(50)的第三接口(503)通过空气泵与外部大气相连。
3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述第二三通阀(60)的第三接口(603)通过空气泵与外部大气相连。
4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述炉体(10)底部设有1-3个所述泄水阀(70)。
5.根据权利要求1或4所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述泄水阀(70)为圆形。
6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述泄水阀(70)的直径为200mm。
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