[实用新型]一种长寿命的短弧型放电灯

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种短弧型放电灯，具体是涉及一种在半导体或液晶制造的曝光工序中用作光源的一种短弧型放电灯。

背景技术

现有的一种短弧型放电灯，具有大致成球状的发光管，发光管内部封闭形成一放电空间，放电空间的阴极和阳极在中心轴上彼此相对配置，放电空间内部封有氙气或氩气等发光物质。

将放电灯通电时，通过从阴极放出的电子的碰撞形成电弧，阳极由于其电弧柱中的电子碰撞而被加热变成高温，随着亮灯时间的增加而逐渐磨损、蒸发，阳极消耗时，蒸发的电极成分就会作为黑化物随着气流流动附着在发光管的内壁而使内壁面黑化，如果不对阳极端面及主体表面进行处理，长时间使用放电灯，阳极就会很快消耗，加快黑化物的蒸发和在发光管上的附着，缩短放电灯的寿命。

另外，对传统放电灯放电过程中灯泡的气流进行对流仿真，其含有由放电产生的黑化物成分的气流的流动轨迹如图1所示。由图1可看出，传统放电灯的阳极的发光管端面侧的形状是从电极中心朝向外侧并向下倾斜的。当灯点亮时，阳极和阴极之间产生电弧等离子体，此时产生从阴极侧向阳极侧面上升的路径的气流。该气流在阳极的发光管端侧附近被分流，部分气流流向并与发光管碰撞，并在碰撞区域附着较多的黑化物。一般的碰撞区域都较低，处在发光管的光照射区域上，随着点灯时间的延长，很快就在发光管照射区域上沉积大量的黑化物，遮住了放电灯的光，放电灯的照度下降较快，缩短了放电灯的寿命。因此，为了延长放电灯的使用寿命，有必要改变气流与发光管碰撞区域的位置（黑化物的附着位置），使其偏离发光管的光照射区域，从而使灯长时间维持初始照度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种可以降低黑化物影响，延长放电灯使用寿命的一种长寿命的短弧型放电灯。

为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：

一种长寿命的短弧型放电灯，具有内部封闭成一放电空间的发光管，所述放电空间内的上端和下端分别相对设置有阳极和阴极，所述阳极的上端设有呈倒T型的电极轴，所述电极轴包括连接座和位于所述连接座轴心的轴棒，所述连接座的上表面环绕所述轴棒形成一环形的凹槽。

所述环绕轴棒的凹槽截面为梯形。

所述阳极在与所述阴极相对的端面上形成有凹部，在所述凹部中设有一与所述阳极材料相同构成的插入体，所述插入体与所述凹部之间形成有空隙。

所述插入体中心部分设有凹槽，所述插入体插入所述凹部时，所述的凹槽与所述的凹部之间形成所述空隙。

上述的插入体的凹槽截面成形为U形。

上述的插入体的凹槽截面成形为V形。

所述阳极的表面设有散热结构，所述的散热结构由截面为弧形的沟槽构成。且优选地，该沟槽为螺旋沟槽。

采用上述技术方案后，本实用新型与现有技术相比，具有如下优点：

1、本实用新型的凹槽改变了黑化物在发光管内面的附着位置，使黑化物的附着位置偏离发光管的光照射区域，防止长时间点灯时灯的照度急剧下降，从而延长灯的使用寿命，而且工艺简单，成本低廉。

2、本实用新型放电灯在阳极的下端面设有一插入体，下端面与插入体之间形成有空隙，空隙避免阳极下端突出产生变形；另外，本实用新型放电灯还在阳极表面设有散热结构。从而能够抑制因阳极材料的蒸发引起的变黑所导致的放电灯照度下降的问题，保证了放电灯的使用寿命。

附图说明

图1为传统放电灯放电过程中灯泡的气流进行对流仿真图；

图2为本实用新型的结构示意图；

图3为本实用新型阳极的截面分解示意图；

图4为本实用新型阳极的截面组合示意图；

图5为本实用新型另一实施例的阳极的结构示意图；

图6为本实用新型再一实施例的阳极的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例一

如图2所示，本实用新型公开了一种长寿命的短弧型放电灯，放电灯具有大致成球状的发光管1，发光管1的内部封闭形成一放电空间2，放电空间2内的上端和下端分别相对设置有阳极3和阴极4。