[实用新型]薄膜应力测试仪

权利要求书

1.一种薄膜应力测试仪，用于测量镀膜后的基片上的薄膜应力，其特征在于，包括：

用于放置基片的样品台；

用于发射激光束的激光发射器，设置于所述样品台上方；

激光探测仪，设置于所述样品台上方；

用于将所述激光束反射到所述样品台上的基片的反光镜，设置于所述样片台上方，且相对于所述激光发射器发射的激光束的行进方向倾斜设置；以及

用于接收所述基片反射的激光束、并将其反射到所述激光探测仪的半透镜，所述该半透镜位于所述样片台上方、反光镜下方且相对于所述激光束的行进方向倾斜设置；

其中所述激光探测仪是激光光斑位敏探测仪。

2.根据权利要求1所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述薄膜应力测试仪还包括驱动所述样品台以预定步长移动的驱动装置、以及与所述驱动装置电连接的控制装置。

3.根据权利要求2所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述驱动装置是步进电机。

4.根据权利要求1所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述反光镜与所述激光束的行进方向呈45°夹角。

5.根据权利要求2所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述预定步长是0.1mm。

6.根据权利要求1所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述激光探测仪是分辨率为30微米的激光光斑位敏探测仪。

7.根据权利要求1所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述半透镜是透射率与反射率比例为4：6的单面镀膜的平面镜。

8.根据权利要求1所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述薄膜应力测试仪还包括工作台，所述样品台设置在所述工作台上，所述激光探测仪固定在所述工作台上。

9.根据权利要求8所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述工作台上固定设置有支架，所述反光镜和半透镜均固定在所述支架上。