[实用新型]一种硅片搬运承载专用载片篮有效
申请号: | 201320840321.3 | 申请日: | 2013-12-19 |
公开(公告)号: | CN203707096U | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 贺海凡 | 申请(专利权)人: | 光为绿色新能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 保定市燕赵恒通知识产权代理事务所 13121 | 代理人: | 周献济 |
地址: | 074000 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 搬运 承载 专用 载片篮 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能电池片制造过程中硅片的搬运承载工具:专用载片篮。
背景技术
载片篮是太阳能电池片制造过程中硅片的搬运承载工具。现在常用的有50片载片篮和100片载片篮,其包括框架和固定在框架上的两相对的载片板。框架由两侧支撑铜板和四根圆柱形铜板支架组成;50片载片篮的每块载片板只包含一块内表面分布有50个硅片卡接槽的分载片板,100片载片篮的每块载片板包含两块内表面分布有50个硅片卡接槽的分载片板。由于分载片板很薄,不能直接固定在支撑铜板上,所以,将其先固定在两根方形支架上,再将方形支架固定在支撑铜板上;为了避免分载片板的内表面出现螺丝而影响硅片的装载,现有的分载片板是由与其外表面一体的卡子和将卡子卡接固定在两根方形支架上的卡箍固定在方形支架上的。由于卡箍锁死处很容易松动,又很易断,一旦卡箍锁死处松动和断掉,载片篮就容易变形,大大降低载片篮的使用寿命。而且两侧支撑铜板上只有载片板方形支架的一个固定位,一旦硅片尺寸改变,其只能更换另一尺寸的载片篮,这给载片篮的制作带来了麻烦,还使使用厂家必须备有不同型号的载片篮,给载片篮的存储带来了麻烦。
实用新型内容
本实用新型的目的就是解决现有技术中存在的上述问题,提供一种在不影响硅片载装的情况下分载片板不易松动地固定在方形支架上,使用寿命长,且一种载片篮适应多种规格的硅片的搬运的硅片搬运承载专用载片篮。
为实现上述目的,本实用新型的技术解决方案是:一种硅片搬运承载专用载片篮,其包括两侧支撑板、固定在两侧支撑板上的支撑板支架、载片板支架和两块每块由一块、两块或多块分载片板组成的载片板;每个分载片板的内表面均匀分布有硅片卡接槽;在分载片板的边框上开有螺栓孔,在边框之间的分载片板上开有沉孔,分载片板由螺栓、垫片和螺母固定在载片板支架上;螺栓位于边框上的螺栓孔和分载片板上的沉孔内;两侧支撑板上开有多对预设载片板支架安装孔,载片板支架可根据硅片的尺寸需要固定在两侧支撑板上。
由于本实用新型的每个分载片板分别由螺栓、垫片和螺母固定在载片板支架上,其固定强度高,固定处不易松动、断裂,载片篮不再因此而变形,延长了载片篮的使用寿命,可以是现在使用寿命的2倍以上。且在边框之间的分载片板上开的是沉孔,螺栓位于沉孔内,对硅片的载装不造成任何影响。且在两侧支撑板上开有了多对预设载片板支架安装孔,可以根据硅片的尺寸需要安装载片板支架,满足了不同尺寸硅片的使用。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的主视图;
图3为本实用新型的俯视图;
图4为本实用新型中载片板和载片板支架的主视图;
图5为本实用新型中载片板和载片板支架的后视图;
图6为本实用新型中载片板和载片板支架的仰视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步描述。
如图1、图2、图3、图4、图5和图6所示,本实施例包括两侧支撑板1、5、固定在两侧支撑板1、5上的四根支撑板支架3、每块载片板上的两根支架6和两块每块由两块分载片板2组成的载片板4。每个分载片板2的内表面均匀分布有硅片卡接槽7。在分载片板2的边框上开有螺栓孔,在边框之间的分载片板2上开有沉孔,分载片板2由螺栓9、垫片和螺母8固定在载片板支架6上。两侧支撑板1、5上开有多对预设载片板支架6安装孔11,载片板支架6可根据硅片的尺寸需要由螺钉10固定在两侧支撑板1、5上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造