[实用新型]振动传感器

权利要求书

1.一种振动传感器，其特征在于，包括依次层叠设置的第一电极层，第一高分子聚合物绝缘层，和第二电极层；其中所述第一电极层设置在所述第一高分子聚合物绝缘层的第一侧表面上，所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面朝向所述第二电极层的第二侧表面设置； 

所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面或所述第二电极层的第二侧表面上设置有至少一个凸起结构，使得所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面和所述第二电极层的第二侧表面相互固定连接，由此形成空腔；所述第一高分子聚合物绝缘层、所述第二电极层和所述凸起结构共同形成可振动的框架结构； 

所述第一电极层和所述第二电极层为所述振动传感器的两个输出端。 

2.一种振动传感器，其特征在于，包括依次层叠设置的第一电极层，第一高分子聚合物绝缘层，第二高分子聚合物绝缘层和第二电极层；其中所述第一电极层设置在所述第一高分子聚合物绝缘层的第一侧表面上，所述第二电极层设置在所述第二高分子聚合物绝缘层的第一侧表面上，所述第二高分子聚合物绝缘层的第二侧表面朝向所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面设置； 

所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面或所述第二高分子聚合物绝缘层的第二侧表面上设置有至少一个凸起结构，使所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面与所述第二高分子聚合物绝缘层的第二侧表面相互固定连接，由此形成空腔；所述第一高分子聚合物绝缘层、所述第二高分子聚合物绝缘层和所述凸起结构共同形成可振动的框架结构； 

所述第一电极层和所述第二电极层为所述振动传感器的两个输出端。 

3.一种振动传感器，其特征在于，包括依次层叠设置的第一电极层，第一高分子聚合物绝缘层，居间电极层，第二高分子聚合物绝缘层以及第二电极层；其中所述第一电极层设置在所述第一高分子聚合物绝缘层的第一侧表面上，所述第二电极层设置在所述第二高分子聚合物绝缘层的第一侧表面上；所述居间电极层设置在所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面与所述第二 高分子聚合物绝缘层的第二侧表面之间，并且所述居间电极层的第一侧表面与所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面相对设置，所述居间电极层的第二侧表面与所述第二高分子聚合物绝缘层的第二侧表面相对设置； 

所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面或所述居间电极层的第一侧表面上设置有至少一个凸起结构，使所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面与所述居间电极层的第一侧表面相互固定连接，由此形成空腔，所述第一高分子聚合物绝缘层、所述居间电极层和所述凸起结构共同形成可振动的框架结构，和/或，所述第二高分子聚合物绝缘层的第二侧表面或所述居间电极层的第二侧表面上设置有至少一个凸起结构，使所述第二高分子聚合物绝缘层的第二侧表面与所述居间电极层的第二侧表面相互固定连接，由此形成空腔，所述第二高分子聚合物绝缘层、所述居间电极层和所述凸起结构共同形成可振动的框架结构； 

所述居间电极层、所述第一电极层和所述第二电极层中的任意两者或三者形成所述振动传感器的输出端。 

4.一种振动传感器，其特征在于，包括依次层叠设置的第一电极层，第一高分子聚合物绝缘层，居间薄膜层，第二高分子聚合物绝缘层以及第二电极层；其中所述第一电极层设置在所述第一高分子聚合物绝缘层的第一侧表面上，所述第二电极层设置在所述第二高分子聚合物绝缘层的第一侧表面上；所述居间薄膜层为聚合物薄膜层，设置在所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面与所述第二高分子聚合物绝缘层的第二侧表面之间，并且所述居间薄膜层的第一侧表面与所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面相对设置，所述居间薄膜层的第二侧表面与所述第二高分子聚合物绝缘层的第二侧表面相对设置； 

所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面或所述居间薄膜层的第一侧表面上设置有至少一个凸起结构，使所述第一高分子聚合物绝缘层的第二侧表面与所述居间薄膜层的第一侧表面相互固定连接，由此形成空腔，所述第一高分子聚合物绝缘层、所述居间薄膜层和所述凸起结构共同形成可振动的框架结构，和/或，所述第二高分子聚合物绝缘层的第二侧表面或所述居间薄膜层的 第二侧表面上设置有至少一个凸起结构，使所述第二高分子聚合物绝缘层的第二侧表面与所述居间薄膜层的第二侧表面相互固定连接，由此形成空腔，所述第二高分子聚合物绝缘层、所述居间薄膜层和所述凸起结构共同形成可振动的框架结构； 

所述第一电极层和所述第二电极层为所述振动传感器的两个输出端。