[实用新型]一种超声波雾化等离子体处理装置

说明书

技术领域

本实用新型属于等离子体处理装置，具体涉及一种超声波雾化等离子体处理装置。 

背景技术

材料表面改性处理技术是当前普遍使用的材料制备技术之一，它是在一定的外界条件下，材料外部物质和材料表面发生物理或化学反应，从而使材料表面状态发生变化或在材料表面产生新的元素和新的基团，最终满足实际应用的需要。 

但是，现代工业的迅猛发展对材料耐磨擦、磨损和抗腐蚀等性能提出了更高的要求，与此同时，对环保的要求也越来越高，从而有力地推动被称为绿色生产工艺的材料等离子表面改性技术的不断发展。在真空下，给反应气体环境施加高频电场，气体在高频电场的激励下电离产生等离子体。 

但是由于等离子体处理材料时会有处理不均匀的隐患，因此亟需一种既能雾化又能放电产生等离子体形成雾化的等离子体装置。 

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种超声波雾化等离子体处理装置。 

本实用新型所采用的技术方案是：一种超声波雾化等离子体处理装置，包括电源、超声波换能器、超声波喷嘴以及电极座，上述超声波换能器上开设有通气孔，上述超声波换能器中还开设有注液孔，上述超声波喷嘴与上述超声波换能器连接设置，上述超声波换能器与上述超声波喷嘴设置于上述电极座上，上述超声波换能器连接高频电源正极，上述电极座接地，上述超声波换能器及上述超声波喷嘴与上述电极座之间设有绝缘层。 

优选的，上述注液孔通过通液管道连接设有注射泵。 

优选的，上述通气孔连接通气管道。 

优选的，上述通气管道上还设有流量调节阀。 

优选的，上述高频电源的频率范围为10Khz—100Khz。 

采用本技术方案的有益效果是：本实用新型将超声波换能器作为等离子体的一个电极，将电极座作为另一个电极，电极座与超声波换成器之间产生电场，超声波换能器中注入液体，气体在电场放电产生等离子体，通入的液体被超声波雾化，通过超声波喷嘴中喷出。超声波换能器可以将电能转换成振动机械能，更加有利于气体放电产生等离子体。本装置能将液体原料雾化，雾化后的原料易于扩散，并且能将物料等离子体处理得更加均匀、有效。                                                                                                                                                  

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中： 

图1是本实用新型实施例1的剖面结构示意图；

图2是本实用新型实施例2的剖面结构示意图。

图中，1.超声波喷嘴 2.绝缘层 3.超声波电源 4.注射泵 5.电极座 6.超声波换能器 7.通气管道 8.通液管道 9流量阀。 

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的具体实施例。 

实施例1 

如图1所示，一种超声波雾化等离子体处理装置，包括电源、超声波换能器6、超声波喷嘴1以及电极座5，超声波换能器6上开设有通气孔，通气孔连接通气管道7，超声波换能器中还开设有注液孔，注液孔连接通液管道8，超声波喷嘴1连接设置在电极座5底部，并且超声波换能器6和超声波喷嘴1中间形成连通，超声波换能器6与超声波喷嘴1设置于电极座5上，超声波换能器6连接高频电源正极，高频电源的频率范围为10Khz—100Khz，电极座5接地，超声波换能器6及超声波喷嘴与电极座5之间设有绝缘层2，即超声波换能器6与电极座5接触的部分采用绝缘层2隔绝开。

工作时，接通电源，同时超声波换能器中从通气管道通入反应气体和从通液管道通入液体，由于超声波换能器6和电极座5之间形成电场，通入的反应气体经过超声波换能器6和电极座5形成的电场时，放电产生等离子体，超声波换能器6可以将电能转换成振动机械能，更加有利于气体放电产生等离子体；同时，超声波雾化后的液体原料经高频电场产生等离子体，并通过超声波喷嘴1喷出，用于处理待被处理材料，能将物料等离子体处理得更加均匀。 

实施例2 

其余与实施例1相同，不同之处在于，如图2所示，通气管道上还设有流量调节阀9，用于控制气体的通入流量，流量调节阀9能有效调节通入的气体的流量。避免通入的气体过多而使气体放电效果减弱，或者避免气体通入过少而使产生的等离子体过少不能有效处理被处理材料。