[实用新型]一种用于区熔炉多晶棒夹持机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于区熔炉多晶棒夹持机构。

背景技术

近年来，各种晶体材料，特别是以单晶硅为代表的高科技附加值材料及其相关高技术产业的发展，成为当代信息技术产业的支柱，并使信息产业成为全球经济发展中增长最快的先导产业。采用区熔法单晶生长技术制备的半导体硅材料，是重要的硅单晶产品，利用硅表面张力大的特点，故采用悬浮区熔法，简称FZ法或FZ单晶，用于制作电力电子器件、光敏二极管、射线探测器、红外探测器等。现有产品缺乏针对调整保温环位置而达到对单晶调温的作用，无法降低晶体内部热应力，通常情况下，单晶因过冷、过热、而出现丢苞、开裂等状况。因此，针对以上方面，需要对现有技术进行合理的改进。

实用新型内容

针对以上缺陷，本实用新型提供一种利于简化夹持工序、更加快捷且牢固、有利于提高加工效率的用于区熔炉多晶棒夹持机构，以解决现有技术的诸多不足。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于区熔炉多晶棒夹持机构，包括通水上轴、挂架与挂盘，所述通水上轴下方水平安装一个挂架并且该挂架中心部位设置一通孔，位于该挂架下方卡接一个挂盘并且该挂盘中心柱顶端卡接在通孔内，所述挂盘下表面贴合一个自定心盘并且此自定心盘两侧分别垂直安装一个多晶夹头，位于自定心盘与挂架之间安装两个摆动调节螺杆。每个摆动调节螺杆下端与自定心盘相接。

本实用新型所述的用于区熔炉多晶棒夹持机构的有益效果为：通过设置旋转自定心盘推动多晶夹头卡住多晶棒，多晶棒上端径向自定心，在操作摆动调节螺杆修正多晶棒下端的径向跳动，该结构利于简化夹持工序、更加快捷且牢固、有利于提高加工效率。

附图说明

下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。

图1是本实用新型实施例所述用于区熔炉多晶棒夹持机构示意图；

图2是本实用新型实施例所述用于区熔炉多晶棒夹持机构的挂架示意图；

图3是本实用新型实施例所述用于区熔炉多晶棒夹持机构挂架部分局部示意图；

图4是本实用新型实施例所述用于区熔炉多晶棒夹持机构的挂盘示意图；

图5是本实用新型实施例所述用于区熔炉多晶棒夹持机构的挂盘部分局部示意图；

图6是本实用新型实施例所述用于区熔炉多晶棒夹持机构的自定心盘部分示意图。

图中：

1、通水上轴；2、自定心盘；3、多晶夹头；4、挂架；5、摆动调节螺杆；6、挂盘；7、多晶部分。

具体实施方式

如图1-6所示，本实用新型实施例所述的用于区熔炉多晶棒夹持机构，包括通水上轴1、挂架4与挂盘6，所述通水上轴1下方水平安装一个挂架4并且该挂架4中心部位设置一通孔，位于该挂架4下方卡接一个挂盘6并且该挂盘6中心柱顶端卡接在通孔内，所述挂盘6下表面贴合一个自定心盘2并且此自定心盘2两侧分别垂直安装一个多晶夹头3，位于自定心盘2与挂架4之间安装两个摆动调节螺杆5并且每个摆动调节螺杆5下端与自定心盘2相接，其中的多晶夹头3下方为待操作的多晶部分7，使用时，通过设置旋转自定心盘2推动多晶夹头3卡住多晶棒，多晶棒上端径向自定心，在操作摆动调节螺杆5修正多晶棒下端的径向跳动。

以上实施例是本实用新型较优选具体实施方式的一种，本领域技术人员在本技术方案范围内进行的通常变化和替换应包含在本实用新型的保护范围内。