[实用新型]键合机用引线框架的定位板有效
申请号: | 201320858005.9 | 申请日: | 2013-12-24 |
公开(公告)号: | CN203631524U | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 季达 | 申请(专利权)人: | 南通华达微电子集团有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226006 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 键合机用 引线 框架 定位 | ||
技术领域
本实用新型涉及半导体工业中使用的键合机的引线框架定位板部件。
背景技术
半导体工业,尤其是集成电路中,经常使用到键合机。键合是在半导体芯片(第一焊点)和引线框架的精压区(第二焊点)之间,采用引线(铝线、铜线、金线或银线等)进行焊接连接。为了不产生虚焊、提高焊点焊接强度,工艺上常用压爪将载片台(助压区)和精压区分别压实键合轨道和引线框架的定位板上。全自动铝线机采用多点压针,压实效果很好;但手动铝线机由于焊头不能旋转,为防止焊头运动时碰伤铝线劈刀,第二焊点的精压区不能采用多点压针,而只能使用线状接触的压爪。
传统引线框架的定位板板面是平的,由于引线框架是冲压法生产出来的,因此精压区和引线不能保证绝对共面。当压爪将引线框架压实后,有的框架精压区会上翘,导致精压区和引线框架的定位板之间出现缝隙,影响焊接质量(如超声焊接的功率传输不畅),使焊点出现虚焊。
申请专利号为200920076207.1 的文件公开了“夹具”,该实用新型所述夹具用于固定引线框架,所述夹具设置于引线键合设备上,所述引线键合设备包括一驱动装置,所述夹具包括爪部以及连接部,所述爪部的形状与所述引线框架的形状匹配,所述连接部的一端与所述爪部连接,所述连接部的另一端与所述驱动装置连接。本实用新型所提及的定位板是常用的平板形状,用于键合焊接时,容易出现引线框架与引线之间焊点虚焊的现象。
发明内容
实用新型目的:克服传统的键合机中定位板形状过于简单的问题,提供一种形状特殊、能提高焊接质量的键合机用引线框架的定位板。
技术方案:本实用新型提供的键合机用引线框架的定位板,键合机上具有键合轨道,键合机两侧各具有一支线状接触的压爪,引线框架具有助压区(或称左压区,指被左压爪按压处)、载片区、精压区、引线区。定位板的纵向剖面呈凹五边形,凹五边形由上边、斜边、右边、底边、左边依次相连构成,其中上边与底边平行,上边与斜边形成了凹陷的钝角。
即相当于定位板的上平面是凹陷的,精压区和定位板底平面水平,引线区向后上翘。
本实用新型中,凹五边形的上边长度为3-5mm(优选3.5mm),底边长度为16-20mm(优选18.5mm),左边低于右边0.6-1mm(优选0.75mm)。
使用时,该定位板放置于键合机的操作台上、键合轨道旁边,引线框架的精压区和引线区位于定位板上方,助压区和载片区位于键合轨道上方;载片区装载芯片,左侧的压爪压在助压区,右侧的压爪压在精压区与引线区的连接处。由于定位板上有凹陷的钝角,引线框架与定位板之间可形成深度为0.05-0.3mm的间隙。而该间隙的存在,使得右侧的压爪压紧引线框架时,引线框架产生轻微变形,精压区将紧贴凹五边形的上边,也即不会在精压区与定位板之间出现缝隙,从而保证芯片、精压区与待焊接的引线(铝线、铜线、金线或银线等)基本位于同一平面,便于引线与精压区之间焊接连接。
有益效果:
本实用新型的定位板用于键合机中时,精压区与定位板之间紧密靠拢,引线与芯片或引线与引线框架之间的焊接质量得以较大幅度地提高,明显降低因焊接区压不实而导致的焊点虚焊的现象。
该定位板可配套应用于半导体封装生产线中的手动铝线键合机、半自动铝线键合机和全自动TO封装金/铜线机上,尤其适合铝线键合机采取的超声摩擦焊接方法使用。
附图说明
图1是本实用新型的一个俯视图;
图2是本实用新型一个放大的纵向(图1中A-A向)剖面结构示意图;
图3是本实用新型在键合机中配套使用时的结构示意图;
图中,1、上边;2、斜边;3、左边;4、右边;5、底边;6、凹陷的钝角;7、键合轨道;8、左压爪;9、右压爪;10、定位板;11、引线框架;12、助压区;13、载片区;14、精压区;15、引线区;16、芯片。
具体实施方式
下面,结合附图和实施例对本实用新型作更具体的说明。
实施例:
如附图1、图2中所示引线框架定位板,具有助压区12、载片区13、精压区14、引线区15,定位板的纵向剖面呈凹五边形,凹五边形由上边1、斜边2、右边4、底边5、左边3依次相连构成,其中上边1与底边5平行,上边1与斜边2形成了凹陷的钝角6。
所述的凹五边形的上边1长度为3.5mm,底边5长度为18.5mm,左边3低于右边4约0.75mm。
如图3所示,当用于引线框架定位时,由于定位板上有凹陷的钝角6,引线框架与定位板之间可形成深度为0.2mm的间隙。该间隙的存在,使得右压爪9压紧引线框架时,引线框架产生轻微变形,精压区14将紧贴凹五边形的上边1,从而保证芯片16、精压区14与待焊接的铝线引线基本位于同一平面,便于引线与精压区14之间焊接连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造