[实用新型]一种X射线双谱仪

权利要求书

1.一种X射线双谱仪，其特征在于，所述双谱仪包括： 

4千瓦功率X射线管(1)，三维样品移动台(2)，CCD相机(3)，毛细管X光半透镜(4)，半导体X射线探测器和电子学系统I(5)，平面晶体(6)，NaI X射线探测器和电子学系统II(7)，准直狭缝I(8)和准直狭缝II(10)； 

所述4千瓦功率X射线管(1)位于三维样品移动台(2)的左侧的斜上方，与水平面成45度角，所述4千瓦功率X射线管(1)发出的X射线以45度的角度照射在所述三维样品移动台(2)上的待探测样品上； 

所述准直狭缝I(8)、准直狭缝II(10)、平面晶体(6)和NaI X射线探测器和电子学系统II(7)位于三维样品移动台(2)的右侧的斜上方；从样品激发出的元素特征X射线穿过准直狭缝II(10)经过平面晶体(6)分光后穿过准直狭缝I(8)后进入NaI X射线探测器和电子学系统II(7)； 

所述毛细管X光半透镜(4)位于半导体X射线探测器和电子学系统I(5)的前端，所述毛细管X光半透镜(4)固定于半导体X射线探测器前，在样品的右侧与样品的水平面成67.5度夹角，所述毛细管X光半透镜(4)的小直径端对准所述样品待探测的微区域(9)，大直径端对准半导体X射线探测器和电子学系统I(5)；X射线以满足在空心玻璃管内壁发射全反射的角度从毛细管X光半透镜(4)的小直径端进入空心玻璃管，在空心玻璃管的光滑内壁全反射的方式在毛细玻璃管的内部进行传输； 

CCD相机(3)位于样品的正上方，计算机控制所述三维样品移动台(2)可以移动样品向X、Y和Z三个方向移动，和CCD相机(3)相结合以便于快速找到被测微区域(9)。 

2.如权利要求1所述的一种X射线双谱仪，其特征在于，所述4千瓦功率X射线管(1)，可以实现测量样品中10ppm以上的痕迹元素的含量。 

3.如权利要求1所述的一种X射线双谱仪，其特征在于，所述半导体X射线探测器具有130电子伏特的分辨率；所述NaI X射线探测器具有500伏特以上的分辨率，NaI X射线探测器和平面晶体(6)相结合，分辨率可以到达20电子伏特。 

4.如权利要求1所述的一种X射线双谱仪，其特征在于，所述微区域(9)的直径为50-200微米。 

5.如权利要求2所述的一种X射线双谱仪，其特征在于，所述元素为从硼元素到铀元素。 

6.如权利要求1所述的一种X射线双谱仪，其特征在于，所述毛细管X光半透镜(4)由10万-100万根内径3微米-15微米内壁光滑的空心玻璃管在高温下融合而成，毛细管的内径是不均匀的，入端的毛细管的管径比出端管径细。