[实用新型]一种电容器及包括该电容器的电容式传感器有效
| 申请号： | 201320865453.1 | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN203631322U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 张俊德 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H01G4/01 | 分类号： | H01G4/01;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电容器 包括 电容 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种电容器，其特征在于，包括：
多个间隔设置的第一极板和第二极板；
位于所述第一极板和第二极板表面的导电层，所述导电层的表面为粗糙面，且所述粗糙面的粗糙度大于10nm。
2.根据权利要求1所述的电容器，其特征在于，所述粗糙面为锯齿面。
3.根据权利要求1所述的电容器，其特征在于，所述粗糙面为波浪面。
4.根据权利要求1所述的电容器，其特征在于，所述导电层为掺杂多晶硅。
5.根据权利要求4所述的电容器，其特征在于，所述导电层为涂覆在所述第一极板和第二极板表面的导电层。
6.根据权利要求1-5任一项所述的电容器，其特征在于，所述电容器为平行板电容器或叉指电容器。
7.一种电容式传感器，其特征在于，所述电容式传感器包括权利要求1-6任一项所述电容器。
8.根据权利要求7所述的电容式传感器，其特征在于，所述电容式传感器为MEMS传感器。
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