[实用新型]一种用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统

权利要求书

1.一种用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统，包括激光器以及依次设置于所述激光器输出光路上的扩束镜、第一分光镜、第二分光镜、全反射镜和用于控制薄膜光伏电池板运动的操作平台，其特征在于：还包括分光镜组和透镜组，所述分光镜组设置于全反射镜的反射光路上，所述透镜组设置于分光镜组的出射光路上，用于将分光镜组分出的同等能量的光束聚焦到薄膜光伏电池板上。

2.根据权利要求1所述的用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统，其特征在于：所述分光镜组包括第三分光镜、第四分光镜、第五分光镜和第六分光镜，所述第三分光镜设置于全反射镜的反射光路上，所述第四分光镜设置于第三分光镜的透射光路上，所述第五分光镜设置于第四分光镜的透射光路上，所述第六分光镜设置于第五分光镜的透射光路上；所述透镜组包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜分别一一对应设置于第三分光镜、第四分光镜、第五分光镜和第六分光镜的反射光路上。

3.根据权利要求2所述的用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统，其特征在于：所述第三分光镜为四分之一分光镜，第四分光镜为三分之一分光镜，第五分光镜为二分之一分光镜，第六分光镜为全反射镜。

4.根据权利要求1所述的用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统，其特征在于：所述第一分光镜与第二分光镜之间的光路上设有平顶光束转换器，所述平顶光束转换器用于将脉冲高斯光束转换成脉冲平顶光束。

5.根据权利要求4所述的用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统，其特征在于：所述平顶光束转换器由两片或者三片非球面透镜组成。

6.根据权利要求1所述的用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统，其特征在于：所述激光器为皮秒激光器。

7.根据权利要求1所述的用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统，其特征在于：所述第一分光镜的反射光路上设有光功率计。

8.根据权利要求1所述的用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统，其特征在于：所述第二分光镜的透射光路上设有光束质量检测装置。

9.根据权利要求1所述的用于铜铟镓硒薄膜光伏电池的多通道激光刻划系统，其特征在于：所述操作平台为X-Y平台。