[实用新型]平面度光学测量设备

权利要求书

1.一种平面度光学测量设备，其特征在于：

包括机架，所述机架上端设有工作台；

第一驱动装置，设置于所述工作台上；

测量装置，与所述第一驱动装置固定连接，用于获取待测工件的数据；

定位装置，设置于所述工作台上，用于固定待测工件；

工控系统，设置于所述机架内，用于控制所述第一驱动装置和测量装置，以及计算分析所述测量装置反馈的数据。

2.根据权利要求1所述的平面度光学测量设备，其特征在于：所述第一驱动装置包括电动轴A、滑动组件和电动轴B；所述电动轴A和滑动组件并排安装在所述工作台上；所述电动轴A和滑动组件的表面设置有龙门结构架；所述龙门结构架包括两根支柱和横梁，所述支柱分别与电动轴A和滑动组件连接，所述横梁架设于两根支柱的上端；所述电动轴B固定在所述横梁上，并且与所述电动轴A和滑动组件相互垂直；所述电动轴B设置有滑板，所述滑板与所述测量装置固定连接。

3.根据权利要求1所述的平面度光学测量设备，其特征在于：所述第一驱动装置包括电动轴A₁和电动轴B₁；所述电动轴A₁安装在所述工作台上；所述电动轴A₁的表面设置有悬臂结构架；所述悬臂结构架包括支架和悬臂，所述支架与电动轴A₁连接，所述悬臂固定于所述支架的上端，两者呈“7”字形；所述电动轴B₁固定在所述悬臂上，并且与所述电动轴A₁相互垂直；所述电动轴B₁设置有滑板，所述滑板与所述测量装置固定连接。

4.根据权利要求1所述的平面度光学测量设备，其特征在于：所述工作台上安装有龙门结构架或悬臂结构架；所述第一驱动装置固定在所述龙门结构架或悬臂结构架上；所述第一驱动装置为电动轴，所述电动轴设置有滑板，所述滑板与所述测量装置固定连接。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的平面度光学测量设备，其特征在于：所述测量装置，包括激光测距仪、微调板和连接板；所述连接板固定在所述滑板上；所述连接板的正面开设有两排一一对应的通孔；所述微调板上开设有一对长孔，所述长孔与所述连接板上的通孔相对应，所述微调板被相继穿过长孔和通孔的螺钉固定在所述连接板上；所述激光测距仪固定在所述微调板上。

6.根据权利要求1所述的平面度光学测量设备，其特征在于：所述定位装置为多根定位柱。

7.根据权利要求6所述的平面度光学测量设备，其特征在于：所述定位装置还包括支座和多根支撑柱；所述支撑柱设置在所述支座的表面，形成支撑区域；所述定位柱设置在所述支座的表面，并且位于所述支撑区域之外；所述定位柱高于所述支撑柱。

8.根据权利要求7所述的平面度光学测量设备，其特征在于：所述定位装置还包括第二驱动装置；所述第二驱动装置安装在所述工作台上；所述支座与所述第二驱动装置固定连接。

9.根据权利要求8所述的平面度光学测量设备，其特征在于：所述第二驱动装置为电动轴，也可以是伺服电机或者步进电机驱动的旋转平台；所述支座设置在所述电动轴或者旋转平台的表面。

10.根据权利要求1所述的平面度光学测量设备，其特征在于：还包括上罩，所述上罩设置于所述工作台上，所述第一驱动装置、测量装置和定位装置均位于所述上罩内部；所述上罩的面板上安装有显示器。