[实用新型]一种用于洁净室的新风机组系统有效
| 申请号： | 201320879167.0 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN203642387U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王琳;陈玉峰;周金锋;张靖华;朱琪;王志诚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F24F3/00 | 分类号： | F24F3/00;F24F11/02;F24F13/28 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 洁净室 新风 机组 系统 | ||
1.一种用于洁净室的新风机组系统，其特征在于，至少包括：
进风风阀以及出风风阀；
位于所述进风风阀和出风风阀之间的预热盘管；
连接预热盘管的预热盘管出水管道；
连接预热盘管的预热盘管进水管道；
预热盘管出水管道和预热盘管进水管道采用第一气动控制阀连接；
再热盘管；
连接再热盘管的再热盘管进水管道；
连接再热盘管的再热盘管出水管道；
预热盘管出水管道和再热盘管进水管道采用第二气动控制阀连接；
再热盘管出水管道和预热盘管进水管道连接；
再热盘管出水管道和预热盘管进水管道连接处设置有第三气动控制阀。
2.根据权利要求1所述的用于洁净室的新风机组系统，其特征在于：所述进风风阀和预热盘管之间设置有过滤器，所述过滤器与所述预热盘管之间形成空气夹层。
3.根据权利要求1所述的用于洁净室的新风机组系统，其特征在于：所述预热盘管和再热盘管之间自进风风阀至出风风阀依次设置有预冷盘管、加湿器和再冷盘管；所述预热盘管、预冷盘管、加湿器、再冷盘管以及再热盘管彼此之间形成空气夹层。
4.根据权利要求1所述的用于洁净室的新风机组系统，其特征在于：所述再热盘管和出风风阀之间自进风风阀至出风风阀方向依次设置有送风动力设备以及过滤器；所述再热盘管、送风动力设备、和过滤器依次排列并且彼此之间形成空气夹层。
5.根据权利要求4所述的用于洁净室的新风机组系统，其特征在于：所述过滤器包括化学过滤器以及位于所述化学过滤器与出风风阀之间的高效过滤器。
6.根据权利要求1所述的用于洁净室的新风机组系统，其特征在于：所述预热盘管进水管道进水端口处设置有变频器。
7.根据权利要求1所述的用于洁净室的新风机组系统，其特征在于：所述再热盘管出水管道 自由端和预热盘管出水管道自由端分别设置有热水流量调节阀。
8.根据权利要求3所述的用于洁净室的新风机组系统，其特征在于：所述再冷盘管连接有管道，且管道自由端设置有湿度控制阀。
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