[实用新型]一种PECVD石英管锁扣保护罩

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，特别涉及一种石英管锁扣的保护装置。

背景技术

等离子体增强化学气相沉积法（PECVD，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）是太阳能硅电池生产中一个必不可少的工序，该过程是通过等离子增强化学气相沉积在硅片表面形成一层起到减反射和钝化效果的氮化硅薄膜，其工艺反应通常在链式PECVD工艺腔室内进行。

在链式PECVD工艺腔室内设有石英管，而且石英管的两端通过锁扣固定在生产设备的内部。其中，锁扣上均匀分布有六个圆孔，便于扳手锁紧锁扣，使其稳定固定在生产设备的内部。在反应沉积过程中，在工艺腔室中产生的氮化硅沉积在电池片表面上的同时，一部分会沉积在连接石英管的锁扣上，由于锁扣整个是裸露在外面的，长时间的镀膜，沉积在锁扣上面的氮化硅会越来越多，最终将锁扣全部覆盖，以致无法正常拆卸、安装。

现有技术中经常采用电钻钢锉打磨或氢氟酸清洗的方法来处理锁扣表面的氮化硅，但是这种方法会给锁扣造成严重的损坏。还有一种方法是用耐高温胶带将锁扣缠绕起来，锁扣上面的用于拆卸的孔洞被保护起来，这样氮化硅无法覆盖在锁扣表面，等到拆卸锁扣时，可将耐高温胶带撕掉；采用这种方法每次都要使用大量的胶带，而且120小时的维护周期后，覆盖锁扣的耐高温胶带会被厚厚的一层氮化硅覆盖，胶带粘性很大，不容易撕下来，若使用钳子又容易将胶带撕断，拆卸同样有一定的难度，不容易清理干净，而且费时。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种PECVD石英管锁扣保护罩，操作简单，安装和拆卸方便，能够有效阻挡氮化硅在锁扣上的附着，吸附在保护罩上面的氮化硅易于清理，有助于减少维护时间。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种PECVD石英管锁扣保护罩，包括上下连接并相通的空心状梯形圆台Ⅰ和梯形圆台Ⅱ；所述梯形圆台Ⅰ和梯形圆台Ⅱ为一整体结构，所述梯形圆台Ⅰ的下底边与梯形圆台Ⅱ的上底边重合，且两者中心线在一条直线上。

所述梯形圆台Ⅰ的上底内径φ1为20~22mm，下底内径φ2为33~35mm；所述梯形圆台Ⅱ的下底内径φ3为35~37mm；所述梯形圆台Ⅰ高l1为13~17mm；所述梯形圆台Ⅱ高l2为48~52mm；

所述保护罩为铝质薄片，其厚度为0.5~1.5mm。

优选地，所述梯形圆台Ⅰ的上底内径φ1为21mm，下底内径φ2为34mm；所述梯形圆台Ⅱ的下底内径φ3为36mm；所述梯形圆台Ⅰ高l1为15mm；所述梯形圆台Ⅱ高l2为50mm。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：保护罩的整体形状与石英管锁扣的外部形状相适配，直接套在石英管锁扣上即可，安装方便，不易脱落；保护罩采用铝质薄片制作，整个保护罩比较柔软，吸附在保护罩上面的氮化硅易于清理，且制作成本低；本实用新型能够有效地阻挡氮化硅在锁扣上的附着，避免锁扣被堵塞；操作简单，安装和拆卸方便，吸附在保护罩上面的氮化硅易于清理，有助于减少维护时间。

附图说明

图1是本实用新型的侧视图；

图2是本实用新型的俯视图；

其中，1、梯形圆台Ⅰ，2、梯形圆台Ⅱ。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1和图2所示，一种PECVD石英管锁扣保护罩，包括上下连接并相通的空心状梯形圆台Ⅰ1和梯形圆台Ⅱ2；所述梯形圆台Ⅰ1和梯形圆台Ⅱ2为一整体结构，所述梯形圆台Ⅰ1的下底边与梯形圆台Ⅱ2的上底边重合，且两者中心线在一条直线上；所述保护罩为铝质薄片。

保护罩的整体形状与石英管锁扣的外部形状相适配，保护罩的尺寸根据石英管锁的尺寸进行设计；使用时，首先将石英管从保护罩中心穿过，然后将保护罩套在石英管的锁扣上，锁扣被全部覆盖。

实施例1

所述梯形圆台Ⅰ1的上底内径φ1为21mm，下底内径φ2为34mm；所述梯形圆台Ⅱ2的下底内径φ3为36mm；所述梯形圆台Ⅰ1的高度l1为15mm；所述梯形圆台Ⅱ2的高度l2为50mm；所述保护罩厚度为1mm；本实施例是根据石英管锁扣尺寸设计的优选尺寸，保护罩与石英管锁扣之间达到最佳适配。

实施例2