[实用新型]一种单晶炉导气管

权利要求书

1.一种单晶炉导气管，包括导气弯管（9）和导气直管（12），其特征在于：所述导气弯管（9）为一端开口的横向管道，其底面为平面；所述导气弯管（9）的底面上设有圆孔（18）；所述导气直管（12）为竖直圆管，其顶端外圆周上均匀分布着扣爪Ⅰ（16）；所述圆孔（18）上分布着与扣爪Ⅰ（16）相适配的凹槽Ⅰ（17）；所述导气直管（12）为伸缩管。

2.根据权利要求１所述的一种单晶炉导气管，其特征在于：所述导气弯管（9）为方形管。

3.根据权利要求１所述的一种单晶炉导气管，其特征在于：所述扣爪Ⅰ（16）和凹槽Ⅰ（17）的数目为3-9个。

4.根据权利要求１所述的一种单晶炉导气管，其特征在于：所述导气直管（12）包括导气直管上管（13）和导气直管下管（14）两部分；所述导气直管上管（13）的下端外圆周上均匀分布着扣爪Ⅱ（15）；所述导气直管下管（14）上表面开孔并设有与扣爪Ⅱ（15）适配的凹槽Ⅱ（19）。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉导气管，其特征在于：所述扣爪Ⅱ（15）和凹槽Ⅱ（19）的数目为3-9个。