[实用新型]LED曝光机外设高效过滤供气系统有效
| 申请号： | 201320880253.3 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN203689000U | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 张方德;王玉璋;林炳巧 | 申请（专利权）人： | 浙江欧视达科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B01D46/00 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 325011 浙江省温州市温州高新技*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | led 曝光 外设 高效 过滤 供气 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种LED曝光机外设高效过滤供气系统，包括机架，其特征在于：所述机架顶部设有防尘板（1），密封舱室（6）设于机架中上部，真空泵（2）设置于密封舱室（6）的下方，所述密封舱室（6）的左右两侧内壁设有风机（3），所述风机（3）具有设于密封舱室外的风机散热口（4），所述密封舱室（6）的上方和背面设有两块高效空气过滤器（5）。
2.如权利要求1所述的LED曝光机外设高效过滤供气系统，其特征在于：所述风机散热口（4）通过物理压迫方式实现密封。
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