[实用新型]一氧化氮纯化器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种一氧化氮纯化器，用于对生产的一氧化氮进一步纯化。 

背景技术

一氧化氮是一种特种气体，广泛应用于医药、电子、科研、环保、精细化工等，在电子行业主要用于硅的氧化膜形成、氧化、化学气相淀积。一氧化氮制备原理如下： 

1、3Cu + 8HNO₃（稀） ==== 3Cu(NO₃)₂ + 2NO↑ + 4H₂O；

2、NaNO2+H2SO4==== 2N0↑+Na2SO4+H2O+NaNO3；

3、KNO2+2Hg+2H2SO4===2NO↑+K2SO4+HgSO4+2H20；

4、2KNO3+4H2SO4+6FeSO4===3Fe2(SO4)3+2NO↑+K2SO4+H2O；

5、2HI+HNO2===I2+2NO↑+2H2O。

由以上原理可以看出，反应产物中都有水分的存在，一氧化氮又会与反应器中的微量氧气反应生产二氧化氮2NO+O2==N02;二氧化氮又会与一氧化氮反应生产三氧化二氮NO+NO2==N2O3，由于反应原料纯度问题又会有新杂质产生，例如NaNO2纯度的问题，里面一般会含有部分的Na2CO3、NaHCO3，在反应中会生产CO2杂质，传统工艺在过滤纯化过程中，会使用一定比例的NaOH水溶液进行第一段的脱H2SO4、HNO3、H2CO3、CO2、N2O，第二段会采用CaO脱水、第三段会采用特殊吸附剂脱除部分NO2，由于这种吸附剂对NO2脱除效果非常有限，因此一氧化氮纯度水平多数保持在99.0%以内，含有大量的NO2、N2O3等杂质，而科研、环保、电子等行业对一氧化氮纯度要求非常高、尤其电子行业对一氧化氮中二氧化氮杂质一般要求在100ppm以内，目前急需提供一种对生产的一氧化氮气体进一步纯化的装置。 

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、操作方便、容易控制的一氧化氮纯化器，克服现有技术的不足。 

本实用新型的一氧化氮纯化器，包括吸收罐，在吸收罐的外围绕有气体输送管，气体输送管一端伸入到吸收罐的内腔底部，另一端接有进气嘴，在吸收罐的上部设有出气嘴，在吸收罐的外围套装有低温罐。 

所述的位于吸收罐内侧底部的气体输送管的端部围制成圆形，并在圆形部分上加工有多个出气孔。 

所述的低温罐为冰机或盛有低温介质的罐体。 

本实用新型的一氧化氮纯化器，工作时一氧化氮气体通过吸收罐外侧的气体输送管后可得到预冷凝，其内的杂质达到液滴状态，再进入吸收罐内腔底部由活性炭及吸附剂吸附纯化，提高了纯化效果，然后在吸收罐内上升，自出气嘴排出进入输送装置或储存装置，在此过程中由于处于低温环境，并有活性炭和吸附剂的吸附，使一氧化氮气体得到纯化。结构简单，操作方便，容易控制。 

附图说明

图1是本实用新型具体实施方式的结构示意图。 

具体实施方式

如图1所示：1为吸收罐，吸收罐1内堆放有活性炭和吸附剂。吸收罐1上方通过螺栓连接有盖8，3为气体输送管，气体输送管3的一端接有进气嘴4，气体输送管3缠绕在吸收罐1的外侧，然后经过右接头9连接外部管6，再通过左连接头5与吸收罐1内的内管2相接，内管2的下端位于吸收罐1内腔底部并围制成环形，在环形部加工有多个均匀分布的出气孔。在盖8上连接有排出管10，排出管10接有出气嘴7。进气嘴4、左连接头5、出气嘴7、右连接头9均螺纹连接在同一个上盖板上。上盖板盖在低温罐11上。吸收罐1位于低温罐11内。低温罐11可以选择冰机套装在吸收罐1的外侧，也可以是盛有低温介质的罐体，使吸收罐1处于低温环境中。 

本纯化器是将一氧化氮的粗产品输送至吸收罐的外侧，方便冷却粗产品气，将冷却后的产品气经过吸附罐内的活性炭及吸附剂吸附纯化。吸收罐外侧缠绕的气体输送管形成蛇形冷凝管位于低温环境中，由冰机或低温介质提供-42^oC的冷量,因为本纯化器主要用于脱除经一段、二段纯化后未彻底的脱除的NO2，NO2沸点为21.2^oC,熔点为-11.2^oC,根据这种特性可采用低温冷凝的方式使吸附剂对杂质有更大的吸附量。运行时可将两个纯化器并联，当一个吸附饱和后，将气路切换到另一个运行。被切换下来的纯化器进入升温氮气吹扫过程，抽真空脱附阶段，脱附合格后备用。如果选用盛有低温介质的罐体，当运行一段时间后介质温度升高，可加入液氮降温。