[实用新型]一种波纹软管装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及蚀刻显影设备中连接管道的技术领域，尤其涉及一种波纹软管装置。

背景技术

蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。通常所指蚀刻也称光化学蚀刻（photochemical etching），指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。

喷淋是蚀刻过程中的一个重要的步骤，该步骤对蚀刻能力的均匀和稳定有着极大的影响，而该步骤中，蚀刻药液的纯净度对蚀刻能力也有很大的影响。蚀刻药液是通过主进液管输送至蚀刻摇摆喷淋机构中的喷淋管，再通过喷淋管上的喷嘴将药液喷向待处理的电路板上进行化学反应，但是，由于结构的原因，主进液管与喷淋管之间往往存在一定的距离，为了克服这些距离，在主进液管和喷淋管之间往往通过软管进行连接，从而构成了药液输送的通道。

传统的软管采用的是聚氯乙烯（PVC）软管，并在PVC软管外壁套设PVC波纹管，该材料的软管易老化而损坏，使用寿命短，且其制作工艺复杂，另外，该软管在主进液管和喷淋管之间的安装和拆卸麻烦，另外，在蚀刻药液的输送过程中，容易出现因药液含有杂质而导致的喷淋架喷嘴芯堵塞问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种波纹软管装置，旨在解决现有技术中，传统的波纹软管装置，存在安装和拆卸不便，且易导致喷淋架喷嘴芯堵塞的缺陷。

本实用新型是这样实现的，一种波纹软管装置，用于蚀刻摇摆喷淋机构上，包括首尾贯通的软管，所述软管的两端均设置开口，所述开口处设置有用于与外部管道密封连接的活接组件，且所述开口与所述活接组件之间设有过滤器；所述活接组件包括套设于所述开口上的活接盖以及活结接头，所述活结接头的尾端与所述外部管道紧固连接，所述活结接头的首端伸入所述活接盖中与其配合形成可拆卸连接，且所述活结接头与所述活接盖配合抵紧所述开口的边缘。

优选地，所述活接组件还包括套设于所述开口上的压盖，所述压盖顶端的边缘向外弯折形成凸缘，所述活接盖底端的边缘向内弯折形成台阶，所述压盖伸入所述活接盖内，且所述凸缘与所述台阶形成轴向定位配合。

进一步地，所述开口的边缘向外弯折并贴靠于所述凸缘上，所述活结接头的首端与所述凸缘抵紧配合并形成对所述开口的边缘的夹紧。

再进一步地，所述活结接头的首端上开设有环形的密封槽，所述密封槽中设置有密封圈。

优选地，所述活接盖的内壁上设有螺纹槽，所述活结接头首端的外壁设有与所述螺纹槽配合的螺纹。

进一步地，所述软管两端的开口分别为入水端和出水端，所述过滤器设置于所述出水端与所述活接组件之间，所述过滤器用于过滤从所述入水端流入并经由所述出水端流出的药水。

优选地，所述过滤器为其上布满过滤孔的柱状结构，所述过滤器的上端直径小于其下端直径，所述过滤器的上端插入所述出水端内，且其下端置于所述活结接头内。

优选地，所述软管的管身呈波纹状，且所述软管采用聚四氟乙烯材料一体成型。

与现有技术相比，本实用新型提出的波纹软管装置，在软管两端的开口上安装活接组件，通过该活接组件实现了与外部管道之间的快速安装或者拆卸，节省了工时；另外，开口与活接组件之间设置了过滤器，有效避免了蚀刻摇摆喷淋机构中喷嘴芯的堵塞问题。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的波纹软管装置的结构示意图；

图2为图1中A部分的放大示意图；

图3为本实用新型实施例提供的波纹软管装置在应用状态的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

如图1～3所示，为本实用新型提供的一个较佳实施例。